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BPG400/402-S
BA・ピラニー真空計 コンビネーション型

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BPG400/402-S
BA・ピラニー真空計 コンビネーション型

インフィコンのコンビネーション真空計 BPG400およびBPG402-Sは、一つの筐体にBAとピラニーの二つのゲージを組み込み、5x10-8 Paから大気圧までの非常に広い測定範囲を提供します。この混合技術が導入と据付やセットアップとインテグレーションの複雑性を軽減し、プロセスの再現性に経済的な一つのパッケージで供給します。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター

特徴

  • 13桁(5E-8Pa~150KPa) の広範囲な圧力測定領域
  • プロセス圧力帯域で高い再現性 5%(1E-6~1Pa)
  • ピラニーインターロックでBAゲージの自動制御
  • LEDディスプレイやデジタルフィールドバスのオプションをラインナップ
  • 装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にする2本フィラメント(BPG402)
  • オンボード校正データ(BPG402)による再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー

仕様・カタログ

そのほかの熱陰極型電離真空計

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