Transpector XPR3+
質 量 ガ ス 分 析 計
Transpector® XPR 3+（プラス）
半導体とディスプレイの製造状況は競争がますます激化しており、常にスループットと歩留まりを最大化する必要性に迫られています。より高性能な半導体は、その製造において複雑さの増大が要求され、費用も嵩みます。トランスペクターXPR 3+ は、 PVD やスパッタリングのプロセスでのウェーハやパネルのリアルタイムの保護を実現することにより、スループットと歩留まりを最適化します。
用途
■ PVD プロセスモジュール
■ プレクリーンモジュール
■ ノンクラスター PVD ツール
■ デガスモジュール
利点
- センサーの設計には現場で実証された四重極とデュアルイオンソースを採用
- 差動排気システムが不要で、寿命の長い部品や問題の速やかな検出と診断を組み合わせることで、ツールのアップタイム、製造のスループット、および歩留まりを最大化
- トランスペクター XPR 3+ は、過圧からフィラメントを自動的に保護するためのピラニーインターロックを使用した構成が可能
- トランスペクター XPR 3+ はチャンバー内の信頼性の高い分析をすることでツールの予防保全をより効果的かつ効率化します。
仕様
