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キャパシタンスダイアフラムゲージ

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SKY®
CDG025D,CDG045D,CDG100D
,CDG160D,CDG200D プロセス制御用

インフィコンキャパシタンスダイアフラムゲージは、 過酷な製造装置環境において長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。 耐腐食性超高純度セラミックセンサーは優れたゼロ点と計測スパンの長期安定性、温度安定性を提供します。独自のセンサーシールドはプロセス副生成物から真空計を保護します。

用途

・Etch, CVD, PVD, ALD ・熱処理炉
・真空滅菌 ・分析装置 ・一般真空装置
・品質管理、基準計

特徴

  • フルスケールヘッドの選択範囲 100mTorr … 1000Torr
  • 短いウォームアップ時間で速い信号安定
  • 耐腐食性の高いアルミナセラミック製
  • 優れた長期安定性
  • コンタミネーションに対するプロテクション構造
  • ワンプッシュのゼロ点調整
  • 2セットポイントリレーのオプション
  • RS232C通信

プローシャー・仕様書・マニュアル

プローシャー

データシート仕様書

マニュアル

cdg02

PORTER™ CDG020D 小型汎用

インフィコン社 PORTER™ CDG020D キャパシタンスダイアフラムゲージは、一般産業の真空圧力計測において、長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。セラミックセンサーは、優れたゼロ点安定性と長期安定性を提供します。また、独自のセンサー構造により、温度変化影響の安定性を保証します。

用途

・真空装置の圧力モニタリング
・熱処理炉/結晶成長/引上装置 ・真空滅菌/洗浄
・分析装置
・真空コーティング、食品パッケージング

特徴

  • 優れたスパン安定性 - ガス種に依存しない
  • コンパクト、クラス最小サイズ
  • 耐腐食性の高いアルミナセラミック製
  • 統合容易性、設置方向無制限
  • デジタル信号処理
  • ワンプッシュのゼロ点調整

プローシャー・仕様書・マニュアル

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STRIPE™ CDG045Dhs, CDG100Dhs  高速応答性型

インフィコン社 STRIPE™ CDG045Dhs, CDG100Dhs キャパシタンスダイアフラムゲージは、今までにない超高速応答性能と従来品より一桁低い圧力のフルスケールヘッドをラインナップしています。応答時間<2msとEtherCATインターフェイス高速通信が先端アプリケーションにおける新たなソリューションを提供します。

用途

・Atomic Layer Deposition
・高速プロセス制御 ・微圧プロセス制御
・高真空プロセス制御

特徴

  • 生産性向上に寄与する超高速応答性 <2ms
  • 実用性、応用性に優れたEtherCATフィールドバスインターフェイス
  • 耐腐食性の高いアルミナセラミック製
  • 低圧・微圧の制御に有利な 10m..20mTorrヘッド

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キャパシタンスダイアフラム真空計

目盛り
キャパシタンスダイアフラム真空計 SKY®
CDG025D,
CDG045D,
CDG100D,
CDG160D,
CDG200D,
プロセス制御用
キャパシタンスダイアフラム真空計
  • 優れた長期安定性と温度安定性
  • 耐食性に優れたセラミックセンサ
キャパシタンスダイアフラム真空計 PORTER™
CDG020D
小型汎用
キャパシタンスダイアフラム真空計
  • 優れた長期安定性と温度安定性
  • 独自のセンサ構造で小フットプリント
キャパシタンスダイアフラム真空計 STRIPE™
CDG045Dhs,
CDG100Dhs
高速応答性型
キャパシタンスダイアフラム真空計
  • <2ms高速応答性
  • 最小 10m, 20mTorr のフルスケールヘッド

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