お問い合わせ

カート式ヘリウムリークディテクタ Modul1000 Dry

Modul1000-Dry

Modul 1000は、半導体および産業用リークテスト・システム(バキュームまたはスニファーモード)と自在に統合可能な、プラグアンドプレイに対応したヘリウムリークディテクタです。フレキシブルな真空構造が確保されているため、お客様の仕様の目的に自由に対応できます。また、安定性 に優れ、周囲条件の影響を受けないため、変化する条件下で長期間繰り返し測定することができます。イオンソースのフィラメントは長寿命設計となっています。 3年間の無償交換 保証に対応しているため、未定のダウンタイムに伴う損害や維持費を最小限に抑えることができます。ソフトウェアのアルゴリズムである I•CAL™により、業界最高レベルの速度で全測定範囲を正確に測定できます。このため、Modul 1000は従来よりも速く、正確なリーク率を検出してデータを送信することができます。

利点


  • 測定開始後にすぐにリークテスト実施可能

  • 検査のインターバル時間の削減

  • 大きな試験体でも素早く真空排気、試験開始が可能

  • 直感的な画面で検査合否判定を容易にする

  • カート一体で可動性に優れている

  • イオンソース3年保証により長期間稼働

  • すべての測定範囲において正確な測定を実現

  • 水蒸気排気速度が速い(NeoDry)

  • ワイヤレスリモコンで広範囲な移動が可能

  • 広い検出範囲:1~ < 5 × 10-13 Pam3/sec

  • 各社のフォアラインポンプに対応

用途

下記のリークテスト

  • コンポーネント
  • チャンバー
  • サブアセンブリー

下記に使用

  • 半導体製造装置
  • フラットディスプレイ製造装置
  • ハーメチック電子デバイスのリークテスト

仕様

最小検出リークレート <5 × 10-13 Pam3/sec
最大インレット圧 40Pa
動作モード 各領域で広範囲検出(12桁)
イオンソース 2フィラメント、
イリジウム/酸化イットリウムコーティング
(3年保証付)
起動時間 1分以内
インレットポート/フォアバキュームポート DN 25 KF/16 KF
電源 85~265V、50/60 Hz
制御入力 8× PLC使用可能(最大35 V)
ステータス/バルブコントロール/トリガー出力 9/11/3×リレー接点(最大60 VAC AC/25 V DC/1 A)
チャートレコーダー出力(リニア/対数) 1~10 V、プログラム可能
推奨フォアバキュームポンプ 50~260 1/m
外形寸法(W×D×H) 300 x 682 x 807 mm
重量 76kg

カタログ

そのほかの可搬式真空リークディテクタ

UL3000Fab
モバイルヘリウムリークディテクタ UL3000 Fab ULTRA

大気圧~真空までリークを検出可能(massiveモード)

UL1000Fab
モバイルヘリウムリークディテクタ UL1000 Fab

半導体・医療業界の要求に応えるパフォーマンス

UL1000
モバイルヘリウムリークディテクタ UL1000

安定したバックグランドと信頼性で品質管理に応じるパフォーマンス

製品一覧