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TRIPLEGAUGE® BCG450
BA・ピラニー・キャパシタンス真空計 トリプルコンビネーション型

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TRIPLEGAUGE® BCG450 BA・ピラニー・キャパシタンス真空計 トリプルコンビネーション型

インフィコンのトリプルコンビネーション真空計 BCG450は、一つの筐体にBA・ピラニー・キャパシタンスの三つのゲージを組み込み、5x10-8 Paから大気圧までの非常に広い測定範囲を提供します。そして大気圧を検知するスイッチ機能も搭載してインテグレーションの複雑性を軽減し真空圧力測定をオールインワンパッケージで可能にします。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
・ロードロック制御

特徴

  • 13桁(5E-8Pa~150KPa) の広範囲な圧力測定領域
  • 1300Pa以上でガス種依存性のない測定ができることでロードロック監視に有効
  • 大気-真空の差圧スイッチ機能を付属
  • ピラニーインターロックでBAゲージの自動制御
  • LEDディスプレイやデジタルフィールドバスのオプションをラインナップ
  • オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー

仕様・カタログ

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