ピラニー真空計
PSG500 ピラニー真空計 汎用型
インフィコンのピラニーゲージPSG500およびPSG502-Sはデジタル技術を採用しています。ステンレス製の堅牢なセンサーとコンパクトなデザインにより、半導体システムや補助真空排気ラインなどの一般用途に最適です。
用途
・高真空用電離真空計の制御
・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
特徴
- プッシュボタンによる簡単なATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢なデザイン
- アルミニウム製ハウジング
- 取付け方向が自在
- メタルシールフィードスルーによるステンレス製センサー
- システムへの統合が容易な対数信号出力
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
PSG550 ピラニー真空計 高機能型
インフィコンのピラニーゲージPSG550は先進的なデジタル技術を採用しています。丈夫でコンパクトなデザインでありながら豊富なオプション機能が用意されていて、低真空から高真空までの多様なプロセス用途に最適です。
用途
・高真空用電離真空計の制御
・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
特徴
- ３種類のセンサー材料(W, Ni, Al2O3コート）で耐腐食に最適なタイプを選択可能
- 豊富なオプション LCDディスプレイ, セットポイントリレー、デジタルインターフェイス
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
- 取付け方向が自在
- デジタル診断ポート付き
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
PCG55x ピラニー・キャパシタンス真空計 コンビネーション型
インフィコンのPCG55xは、当社のセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニセンサーの特長を一つに組み合わせた製品です。1000Paから大気圧の測定レンジにおいて、当社のキャパシタンスダイアフラム技術は、ガス種に依存せず、高精度で信頼出来る圧力測定を提供します。また、PCG55xはアプリケーションで要求される製品構成に適したさまざまな機能を提供します。
用途
・ロードロック制御 ・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
特徴
- 1,000Paを超える測定でガス種に依存しない―どのような混合ガスでも安全にベントが可能
- 大気圧で高い精度と再現性―信頼できる大気圧検知機能オプション
- ３種類のセンサー材料(W, Ni, Al2O3コート）で耐腐食に最適なタイプを選択可能
- 豊富なオプション LCDディスプレイ, セットポイントリレー、デジタルインターフェイス
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
- 取付け方向が自在
- デジタル診断ポート付き
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
PGE500 コンベクション・ピラニー真空計 高機能型
INFICON Pirani Gauge Enhanced (PGE) は、市場における最新のデジタル熱伝導技術を搭載したピラニ真空計です。対流の物理的特性により、本方式のピラニ真空計は10KPa〜100KPaの測定範囲でより高い精度を発揮します。PGE500は低価格ながら頑丈なボディの中に明るくシャープでクリアな有機ＥＬディスプレイと一体型のキーパッド、RS485/RS232のデジタルインターフェイスと4種類から選択可能なアナログ出力信号など、実用的な機能が多く搭載され、低真空から高真空領域における効率的な真空測定を可能にします。
用途
・真空粗引きラインの圧力監視・モニター
・一般的な低真空から高真空までの圧力計測と制御
特徴
- 広い測定範囲と大気圧近くでの高精度を可能にするコンベクション型ピラニテクノロジー
- 内蔵ディスプレイ、２つのセットポイント、４種類のアナログ出力信号、２種類のデジタルインターフェイスが全て一体となったボディ
- 明るいデジタル有機ＥＬディスプレイと、セットアップ、調整、操作を簡単に行えるキーパッド
- ４種類から選択可能なアナログ出力信号
- 工場出荷時にはアナログ出力信号がプリセットされていますが、キーパッドで設定を変更できます
- 表示単位もキーパッドで変更できます
- ユーザーが設定可能なセットポイントリレー
- 金メッキ加工のタングステン・フィラメント
- 衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な筐体
- ８種類から選択可能なフランジ形状
- CEマーキング／RoHS指令
- Granville-Phillips製GP275と互換性あり
プローシャー・仕様書・マニュアル
データシート仕様書
マニュアル
PGE050 コンベクション・ピラニー真空計 パッシブ型
INFICON Pirani Gauge Enhanced 050(PGE050)は、センサと電装部一体型のPGE300とPGE500に対して、センサと電装部（表示器）が分離している最新のデジタルコンベクション型ピラニゲージです。PGE300やPGE500と同一のセンサが搭載され、VGC031（表示器）と一緒に使用することで、10KPa〜100KPaの範囲の計測において同等の精確性の高い測定値を得ることができます。低真空から高真空領域で低価格の真空計測を要求されるアプリケーションに最適です。また、広い測定領域と高精度の特徴により従来型のピラニゲージやサーモカップルゲージへの置換えにも適しています。
用途
・真空粗引きラインの圧力監視・モニター
・一般的な低真空から高真空までの圧力計測と制御
特徴
- 広い測定範囲と大気圧近くでの高精度を可能にするコンベクション型ピラニテクノロジー
- 金メッキ加工のタングステン・フィラメント
- 衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な筐体
- ８種類から選択可能なフランジ形状
- CEマーキング／RoHS指令
- Granville-Phillips製GP275と互換性あり
プローシャー・仕様書・マニュアル
データシート仕様書
マニュアル
ワイドレンジ真空計
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PSG ピラニー真空計 汎用型 |
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PSG ピラニー真空計 高機能型 |
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PCG55x ピラニー・キャパシタンス真空計 コンビネーション型 |
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PGE コンベクション・ピラニー真空計 高機能型 |
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PGE コンベクション・ピラニー真空計 パッシブ型 |
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