お問い合わせ

よくあるご質問

インフィコンによく寄せられる質問にQ&A形式でお答えします。

インフィコン全般

該非判定書の発行はできますか?
該非判定書の発行は対応しております。
営業担当窓口までお電話いただくか、「お問合せ」からお申し込みください。
電話:045-471-3328
インフィコン製のバルブはまだ購入できますか?
バルブ製品はVAT株式会社様へ事業移管いたしました。バルブ製品については、VAT株式会社様へお問合せください。
製品の取扱い説明書が見つかりません。
弊社グローバルウェブサイトの製品ページをご参照ください。
http://products.inficon.com/ja-jp/nav-products

リークディテクタ

真空計

真空計はどのような種類がありますか?
キャパシタンスダイアフラムゲージ(隔膜式)、ピラニゲージ、熱陰極(BA)ゲージ、冷陰極(逆マグネトロン、ペニング)ゲージのラインナップがあります。
測定原理により測定領域が異なりますので、測定したい領域やガス種などに合せてご選定ください。
ご不明な点が御座いましたら、上記の「お問い合わせ」をクリックしてお問合せを頂くか、下記真空計担当営業までお問合せください。
電話:045-471-3328
E-mail: vacuum_control@inficon.jp
コンビネーションゲージとは?
真空測定では広い領域の測定が求められます。各測定原理では得意とする測定領域が異なりますので、高真空に真空排気する場合には2台の真空ゲージを使用することになります。
コンビネーションゲージは、1台の真空ゲージに2つ以上のセンサが搭載されており、外部からの切替信号を必要とせず、1台で広い領域の真空測定をすることができる真空ゲージです。
ゲージポートを少なくしたい場合やシステムの簡素化にお役立ちできる製品です。
真空ゲージの調整は必要ですか?
真空ゲージは計測機器になりますので、新規でご使用される場合やセンサ交換をした場合は取扱説明書に順じて調整することを推奨致します。
また、長時間におよぶ使用や汚染によりゼロレベルが変化する場合もありますので、定期的にチェックし、必要に応じて調整をしてください。
真空ゲージの交換時期はありますか?
真空ゲージは経年劣化や汚れにより交換が必要となりますが、使用環境により使用できる期間が異なります。
メーカーから交換時期をご案内できませんので、お客様のご使用環境に合せて交換をして頂けますようお願い致します。
真空ゲージのセンサ交換はできますか?
ピラニゲージ、BAゲージ、コールドカソードゲージでは、センサ部の交換が可能です。弊社真空ゲージは、お客様が容易に交換できるよう設計されており、短時間での交換が可能です。
真空ゲージのセンサを交換した場合には、取扱説明書に準じてセンサの調整を実施することを推奨致します。 また、キャパシタンスダイアフラムゲージはセンサ交換ができませんので、調整範囲を超えた場合には新品交換となります。
コネクターの「識別(ID)」ピンは何に使いますか?
真空計コントローラーVGCxxxが接続されたゲージの種類を自動認識します。コントローラーを使用しない場合は配線しないでご使用下さい。
D-Subコネクターのネジの規格を教えてください。
インチ#4-40です。
真空計のCAD ファイルが欲しい。
3D STEPファイルを用意しています。上記の「お問い合わせ」をクリックしてその旨と製品名を明記してリクエストしてください。
RoHS対応はしていますか?
弊社真空計、真空継手、フィードスルーはRoHS対応した製品です。
防爆仕様やサニタリ仕様の真空計はありますか?
申し訳ございません。現在の弊社真空計ラインナップでは、防爆仕様やサニタリ仕様はございません。
EtherCATやDevicenet等の対応品はありますか?
EtherCAT, Profibus, Devicenet, RS485対応品がございます。
※CC-Linkはございません。
真空ゲージ、真空継手の購入ルートを知りたい
お手数をお掛け致しますが、上記の「お問い合わせ」をクリックしてお問合せを頂くか、下記真空計担当営業までお問合せください。
電話:045-471-3328
E-mail: vacuum_control@inficon.jp
製品を注文する場合には、製品名称だけでよいのでしょうか?
同機種でも仕様により商品コードが異なります。製品特定のため、製品名称と商品コードをご連絡頂けますと助かります。
(例)製品名称:PSG500、商品コード:350-060
国内で真空計の修理サービスは行っていますか?
国内の技術サービスセンターにてセンサー交換などの修理サービスを行っています。故障内容によっては、修理不可となる場合がございます。
修理開始前には、必ず修理見積書を提出しております。
Calibration(校正)はできますか?
校正サービス(有償)は行っております。真空ゲージのセンサ内部が汚れている場合には、お断りさせて頂く場合も御座います。

キャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)

横向きに取り付けても大丈夫ですか?
どの方向に取り付けてもゼロ点調整をすれば問題なく使用可能です。
ゼロ点調整をするのに必要な圧力はどれくらいですか?
製品フルスケールから4.5桁以上排気してゼロ点調整を行ってください。到達圧力が不十分でも圧力値が既知の場合はオフセット調整をすることが出来ます。
カタログ番号の末尾に3CB1-651-230BのようにBが付いているものは何が違いますか?
圧力制御等のために出力値のフィルター設定が標準タイプと比較して高速になっています。

ピラニゲージ(PSG・PCG)

高真空側で計測値が下がらなくなりましたが原因は?
フィラメントに付着物が付くと放熱性が上がり、雰囲気の圧力が高い時と同じように計測されます。ゼロ点調整又は測定子の交換が必要となります。
PCG550 ATMタイプを使用したいのですが、大気圧検知の設定はどのように変更出来ますか?
専用ソフトウェアとダイアグノスティックケーブルを使用します。詳細はお問い合わせください。

熱陰極型電離真空計(BPG・BAG・BCG)

出力電圧が0.3Vになってしまいました。B-Aフィラメントが断線してしまったか確認したいのですが。
センサー部を取り外して各ピン間の抵抗値をチェックしてください。 こちらをご覧ください。センサーチェック方法。</br> センサーチェック交換方法 : BPG400 センサーチェック交換方法 : BPG402
測定子を交換したら、高真空排気をしても計測値が2Pa程度までしか下がらなくなりました。
「FULL SCALE」と書かれた穴のボタンを押してください。ピラニゲージのゼロ点が調整され、B-A計測を開始します。
B-Aフィラメントの寿命はどの位ですか?
フィラメントの寿命は環境によって大きく異なります。汚染や反応性ガス雰囲気では極端に短くなることが有ります。クリーンな環境では何年も使用可能です。
BPG400とBPG402の違いは何ですか?
BPG400はB-Aフィラメントが1本のみです。BPG402はB-Aフィラメントが2本あり、フィラメント断線時に自動切替えにより計測を継続します。

冷陰極型電離真空計(PEG・MPG・MAG)

HVオンしたのですが、測定値が極端に低い値(E-10mbar等)になります。
ぺニング放電が開始していません。 ぺニングゲージは圧力が低い時や汚れた場合に放電開始に時間がかかります。 高い圧力で放電開始させるか、電極部品の洗浄または交換をしてください。

表示器コントローラ

ケーブルは何mのラインアップがありますか?
ケーブルは、3m/5m/10m/15m/20m/30mが標準ラインナップとなります。
40m/50m/75m/100mも特注対応可能です。

膜厚コントローラー

モニターとコントローラの違いは?
モニターは蒸着レートを計測できます。コントローラは計測した蒸着レートをソース源によるレート制御のフィードバック信号を有します。
Cyg2とIC6の違いは?
両者に設定の違いがあり、基本的には「Cygnus2は単層膜用、IC6は多層膜用」 とお考え下さい。その他の違い点もございますが、詳しくはサポートエンジニアにお問い合わせ下さい。
IC6にXTC2のオシレータ・ケーブルは利用できますか?
XTC2とXTM2は共通です。IC5とCygnusは共通。IC6とCygnus2は共通です。XTC3は専用です。
「Start」 ボタンを押しても蒸着が始まらないのですが。
機器が「Crystal Fail」状態で無い事、「Rate」&「Final Thickness」 がゼロに設定されていないことを確認して下さい。
ボタンでパラメーターの変更ができないのですが。
「READY」 状態になっているかどうかを確認 して下さい。
※「READY」状態にするには、「STOP」→「RESET」をかける必要がございます。
D sub コネクターのネジ規格を教えてください。
#4-40UNFです。
⑫ パラメーターの移植方法 (IC5からIC6, 故障した IC6 から別の IC6)を教えてください。
残念ながらIC5のパラメータはIC6に移植できません。CygnusからCygnus2も同様です。
IC6 または Cygnus 2 同士であれば、USB を用いてパラメーターを移植することができます。

STM-2

STM-2 は window 10 に対応していますか?
Window10 64bit対応です。
STM-2 のソフトウェアが起動できません、インストールが始まらないのですが。
まず、CD マニュアルの「Common Software」というフォルダーより、「setup_smdp_svr_lv.exe」をダブルクリックしてインストールして下さい。
このexe ファイルは、弊社英語版ホームページからもダウンロードして頂けます。
次に、「STM-2」というフォルダーより「STM-2 v1.4.0 Setup.exe」をクリックして指示通りに行って頂ければ、自動的にインストールが行われます。
※どうしてもインストールがうまく行かない場合、直接サポートエンジニアまでお問い合わせ下さい。

センサー

センサーの耐熱温度は何度ですか?
センサータイプで異なります。 スパッタリングセンサー: 103℃、ベーカブルセンサー: 450℃、その他は130℃です。
同軸線を真空導入する部分のコネクターの、フランジへの取り付け方を教えてください。
同軸線自体はMicrodot となり、フランジ側も microdot となります。フィードスルー上のコネクタ類の個別販売はしておりませんので、交換の際にフィードスルー全体が必要になります。
センサー配管の径を教えて下さい。
フィードスルーの水冷パイプ径は3/16インチ(外径)であり、センサーの水冷パイプ径は1/8インチ(外径)になります。3/16インチパイプの中に1/8インチを挿入して繋ぎ目を溶接しております。

測定に関する症状

Crystal failの各部チェック方法を教えてください。
・電極バネを起こす
・リーフスプリング <---> BNCコネクタ間の抵抗値
・6MHz芯線 <---> 筐体間の絶縁されているか?∞MΩ以上
・部品交換(ホルダー、リテーナー、真空同軸ケーブル)
「レート不安定、ノイズ大きい」 が考えられる要因を教えてください。
・ 水晶電極または水晶保持部電極の電気接触不良 、水晶とホルダー間に異物が挟まっている。-->ホルダーの交換や清掃
・ 入射角度の確認--蒸着分布が適切でない。
・ ソースとセンサーの距離の確認---熱衝撃。熱源から30cm以上離す。
・ アース-- 適切なアース処理、ノイズ源から遠ざける(測定ケーブルを一緒に束ねない)
・ 水晶の寿命
・ 材料膜応力
膜厚値の再現性が低いのですが、考えられる理由を教えてください。
・水晶表面に汚れが付いてしまいました。
・センサー、ソース位置の変更があるかどうかを確認
・ソース条件に変更があるかどうかを確認
・熱による影響-水冷の実施、ソースとセンサーの距離は 30cm 以上離れているのかを確認
・Tooling, 密度、Z-ratio などのパラメーターが適切しているかどうかを確認
・シャッターが半開きになっているかどうかを確認

水晶

水晶の種類を教えて下さい。
金(一般用途)、銀(熱プロセス用途)、アルミ合金(誘電膜や膜応力が高い材料用途)の三種類電極水晶がございます。
水晶の出荷検査項目を教えてください。個体差はありますか?
弊社水晶は、全種類において出荷前に以下の検査を行っております:
・発振確認テスト: 膜厚測定において、水晶を発振させて測定するため、発振状態を確認します。
・光学顕微鏡による表面観察: 異物の有無、傷の確認→ 異物や傷が存在する場合、膜剥がれの発生率が高くなるため、表面検査を行うことで膜剥がれの確率を抑制します。
・周波数測定: 発振に関連付き、開始周波数が仕様範囲内かどうかを確認します。
・抵抗値測定: インピーダンス(抵抗値)は電気接触と電極密着性の良い指標です。抵抗値が高い場合、測定が不安定になるため、抵抗値を測定することで規定スペックに入った水晶のみを出荷します。
・曲率測定: 共振の安定性を確保するために、電気的な試験を実施して曲率精度を確認します。曲率精度が悪いと、測定安定性に影響を及ぼします。

上記のテストは、水晶を出荷する前に、弊社アメリカ製造工場にて全数検品を実施しております。
個体差は多少ありますが、測定分解能以下のレベルであり、測定への影響は無視できる程度です。
水晶の耐熱温度は何度ですか?
一般的に、クォーツ水晶は最高300℃まで使用できると言われます。300℃を超えてしまいますと、水晶のピエゾ効果は発揮できなくなり、その結果発振できなくなります。また、温度変化が生じますと、水晶はその影響を受けやすいため、周波数がジャンプしてしまい、測定誤差をもたらしてしまいます。水晶の業界では、温度を如何に一定に保つのかが課題となっています。

参考までに、インフィコン水晶の最適温度は以下の通りです。(※ 最適温度=温度変化による周波数ジャンプを最小限にする温度帯です)
・ 標準品(金電極、銀電極、アルミ合金電極水晶) = 70℃
・ 高温対応品(金電極水晶のみ)= 120℃、240℃、285℃ の3種類

ガスクロマトグラフ

質量ガス分析計

RF/DCセンサー

統合型プロセスモニター

オプティカルガス分析計