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膜厚コントローラ

市場をリードするINFICONの膜厚コントローラとモニター

特徴

インフィコンは、

  • 水晶振動子を使用する機種として、コントローラ4機種(IC6/Cygnus2, XTC/3, SQC310)と
    モニター2機種(SQM160, STM-2)
  • 光学式膜厚測定コントローラとして1機種(Guadian)

をラインナップしています。

革新的な測定システムModeLock(IC6/Cygnus2、XTC/3掲載)は、基本周波数の測定を維持できずに逸脱する「モードホッピング」と呼ばれる現象を実質的に皆無にします。ModeLockがもたらす最も大きな利点の一つは水晶振動子の使用寿命が長くなるということです。インジウムなど、何種類かの材料では振動子寿命がほとんど2倍まで延長されます。

IC6/Cygnus2、XTC/3は、インフィコン独自のRate Watcher機能を備えています。Rate Watcher機能は、速度を定期的にサンプリングしてプロセスの短期間安定性を把握し、それを利用してソースパワーを一定期間(プログラム可能)ごと調整します。このサンプリング方式は水晶振動子の寿命延長に寄与します。

アルミニウムのコントロール応答

インフィコンのModeLockが提供する速度コントロールが従来法よりもはるかに優れていることは右に示すアルミニウム蒸着の例から明らかです。IC/5(図の例)は卓越した測定制度を持ち、測定値を0.005Å分解能で毎秒10回測定できる速度を持っています。

銅デポジションにおける結晶振動子の寿命

インフィコン独自の測定技術ModeLockは、図に示す銅の蒸着例から分かるとおり、結晶振動子の寿命を著しく長くしてくれます。

膜厚コントローラ製品

圧力を計測する、ゲージ(センサー)などは、コチラをクリックしてください。

【お知らせ】

XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。

XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。

TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。

IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。

Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。

Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。


 

IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。

後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。

製品一覧

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