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Transpector CPM

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特徴

  • INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量ガス分析計で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。
  • CPMは小型であるだけでなく、柔軟な構成が可能です。幅広い圧力範囲とそのモニターガスに与える影響を最小限に抑えながら迅速にデータ収集ができるように、INFICONは高い汎用性を備えたHexBlock™インレットを開発しました。 エッチングやCVDなど、一部の複合アプリケーションで使用される高腐食性ガスに対応するため、HexBlockのインレットは316ステンレス鋼のブロックから削り出し、ポンプも耐腐食性のものを採用しました。また、過酷な環境でも長寿命を確保できるように、検出器にはクローズドイオンソース(CIS)を使用しており、sub-ppmレベルで汚染物質の検出が可能です。 また、キャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)がプロセス圧力を正確にモニタして真空インターロックを作動させます。尚、校正のための基準ガスボンベがオプションで用意されています。
  • INFICONは、半導体市場向けRGAの世界的リーダーとして、生産性向上に寄与する革新的で信頼性の高いモニターシステムの開発を行う体制を整えています。さらに、ワールドワイド・ネットワークのアプリケーションおよびサポートのエキスパートにて、全てのお客様をサポートすることができます。 INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、INFICON製品ならではの高性能、汎用性、付加価値をお届けします。サイズは小型ながら堅牢な設計で、365日稼動の生産工程のモニター、また研究室における基本的な研究・開発に活用することができます。

仕様・カタログ

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