モバイルヘリウムリークディテクタ UL3000 Fab ULTRA
加工設備のメンテナンス時にエラーを発生させないことは、非常に重要なテーマです。定評のあるULシリーズのスマートな最新モデルを使用することにより、加工設備のメンテナンスの手間を低減し、これまで以上に安全性を高めることも可能になります。また、リーク検知中には、加工装置は汚染から保護されます。どんなタイプのリークであっても、高い信頼性で検知されます。そのため、メンテナンス終了後に、時間のかかる圧力上昇テストも確実にクリアすることができます。UL3000 Fabヘリウムリークディテクタは、クリーンルーム内での半導体製造装置のメンテナンスや生産など、最大限の清浄度が要求される、あらゆるアプリケーションに適合するように設計されています。
利点
- 時間の節約
- - 測定範囲10-9～10-12 mbar l/sでの高速測定用I·CALソフトウェアアルゴリズムによる時間の節約。
- - 装置システム真空排気を待つこと無く大きな漏れを検出することができます（Massiveリーク機能）
- 高効率
- - 高速バックグラウンド抑制用I·ZERO 2.0。高速排気および短い応答時間による検査作業の最小化。
- コスト効率
- - 長寿命のイオンソースとカウンタフロー式真空システムによって実現された低総所有コスト。
- - UL3000 Fab ULTRAはフォアラインポンプにルーツポンプを採用しておりメンテナンス期間を削減
- 使用および統合が簡単
- - 高解像度の回転式フルカラーディスプレイを採用し、簡単に使用できるユーザフレンドリーなHMI。
- - 離れた距離でも優れたレスポンスのスニファーラインSL3000 を用いたガス供給システムのスニファー漏れ検査
用途
- 半導体産業
- 太陽光発電産業
- レーザーテクノロジー
- 臨床検査テクノロジー
- その他、エレクトロニクス、加速器、コーティングシステム、ガス供給システム、表示ツール、密封型電子デバイスのリーク検査など
仕様
| UL3000 Fab | UL3000 Fab (PLUS) | UL3000 Fab ULTRA | |
| ヘリウム最小検知可能リークレート（真空方式） | < 5 × 10-12 mbar l/s | ||
| ヘリウム最小検知可能リークレート （スニファーモード） | < 5 × 10-8 mbar l/s | ||
| 最大吸入口圧力 MASSIVEモード | 1,000 mbar | ||
| 真空排気中の排気速度 | > 32 m3/h | > 32 m3/h | > 36 m3/h |
| ヘリウム排気速度（高感度モードULTRA） | 4 l/s | ||
| 応答時間 | < 1 s | ||
| 起動時間 | < 3分 | ||
| 検知可能質量 | 2、3、4（H2、3He、He） | ||
| イオンソース | ダブルフィラメント、イットリアコートイリジウム | ||
| テストポート | DN 25 KF | ||
| 調整可能なリークレート設定値数 | 4 | ||
| インターフェース | 2 × USB、Ethernet/LAN （可搬式デバイスのリモートコントロール用USB WiFi Adpater用） | ||
| 供給電圧 | 100～240 V、50/60 Hz | ||
| 消費電力 | 標準700 VA、最大1500 VA | ||
| 寸法（L × W × H） | 1050 × 472 × 987 mm（42 × 21 × 34 in） | ||
| 質量 | 118 kg | 118 kg | 132 kg |
| 許容環境温度範囲（使用時） | +10°C～40°C | ||
| 付加機能 | - | HYDRO S、
セパレートスニファーラインSL3000ポート スクロールポンプ |
HYDRO S、
セパレートスニファーラインSL3000ポート ルーツポンプ |
カタログ
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