IC6/Cygnus2 (コントローラ)

IC6の特徴

従来機種のIC/5のコンセプトを引き継ぎ、多機能性に富むIC6は、複数のソース、るつぼ、材料、プロセスを使用するシステムの蒸着速度と厚みをコントロールするための理想的なコントローラです。
IC6ならば最も複雑で要求の厳しい、しかも類例のないアプリケーションにも余裕を持って対応します。
IC6は蒸着速度と厚みコントロールに特に優れているばかりでなく、プロセスコントロール、論理処理、プログラム、レイヤ保存容量、プロセスデータ管理等においても優れた能力を発揮します。

Cygnus2の特徴

従来機種のCygnusのコンセプトを引き継ぎ、Cygnus2はOLED製造専用に設計された唯一の薄膜蒸着コントローラです。OLED製造のために重要な数々の機能を備えた Cygnus2は最も複雑で厳しい要求が課される独自OLEDアプリケーションにも余裕をもって対応します。
Cygnus2は ModeLock 測定システム（特許取得）を採用することにより現在入手可能な最も安定で、かつ最も高い分解能で速度と厚みを測定できるシステムを実現しました。必要なすべての機能を備えた信頼できるこのコントローラを使用することにより、OLEDメーカーは製造スループットを極限まで高めることができます。