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RF/DCセンサー

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RF/DCセンサーの特徴

インフィコンが新しく提供するSion RFディテクターは、プラズマ・マイクロ・アーキング測定、またプラズマクリーン・エンドポイント測定を極めて高い感度と高速測定スピード(250kHz)で検出することができるリアルタイム・プロセスモニターです。 2007年当初のリリース以降、インフィコン社製新型RFディテクターは大手半導体量産工場に導入されており、プロセス中の異常をリアルタイムに検出しアラームを発生することで、グレーロット/ウェーハの削減、歩留まり向上、およびロスタイム軽減に貢献でき、トータルコストの削減が図れます。また、超小型設計と極めて容易な取り付けスタイル(クランプ方式)で、多種多様なプロセスチャンバーへの搭載が可能です。

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