BAG302 熱陰極電離真空計 R&D向け
BAG302 熱陰極電離真空計 R&D向け
INFICON standard Bayard-Alpert Hot Ion gauge BAG302は、1.3E-7Pa～6.7Paの範囲で測定可能です。コンパクトなオールインワン型ホットイオンゲージBAG302は、RS485インターフェース、交換の容易なデュアルフィラメントセンサ、見やすい有機ELディスプレイ、セットポイントリレー機能、および、対数出力信号が使用できます。BAG302は使いやすいデザインで、高価値・低価格の製品です。
用途
・薄膜プロセスやトランスファーモジュールの圧力計測と制御
・一般的な低真空から高真空までの圧力計測と制御
利点
- 広い測定範囲の表示と制御 1.3 × 10-7 ～ 6.7 Pa
- 長寿命なイットリアコートイリジウムフィラメントを２本搭載
- 内蔵ディスプレイ、セットポイント、アナログ出力信号、RS485デジタルインターフェイス、が全て一体となったボディ
- 明るいデジタル有機ＥＬディスプレイと、セットアップ、調整、操作を簡単に行えるキーパッド
- ユーザーが設定可能なセットポイントリレー
- 表示単位もキーパッドで変更できます
- エミッション電流の自動切り替え
- 衝撃の影響を受けにくい堅牢な筐体
- ７種類から選択可能なフランジ形状
- 交換簡単なセンサーエレメント
- CEマーキング／RoHS指令
- Granville-Phillips製54 Micro-Ion®と互換性あり
