お問い合わせ

BAG302 熱陰極電離真空計 R&D向け

B0AG302 熱陰極電離真空計 R&D向け

BAG302 熱陰極電離真空計 R&D向け

INFICON standard Bayard-Alpert Hot Ion gauge BAG302は、1.3E-7Pa~6.7Paの範囲で測定可能です。コンパクトなオールインワン型ホットイオンゲージBAG302は、RS485インターフェース、交換の容易なデュアルフィラメントセンサ、見やすい有機ELディスプレイ、セットポイントリレー機能、および、対数出力信号が使用できます。BAG302は使いやすいデザインで、高価値・低価格の製品です。

用途

・薄膜プロセスやトランスファーモジュールの圧力計測と制御
・一般的な低真空から高真空までの圧力計測と制御

特徴

  • 広い測定範囲の表示と制御 1.3 × 10-7 ~ 6.7 Pa
  • 長寿命なイットリアコートイリジウムフィラメントを2本搭載
  • 内蔵ディスプレイ、セットポイント、アナログ出力信号、RS485デジタルインターフェイス、が全て一体となったボディ
  • 明るいデジタル有機ELディスプレイと、セットアップ、調整、操作を簡単に行えるキーパッド
  • ユーザーが設定可能なセットポイントリレー
  • 表示単位もキーパッドで変更できます
  • エミッション電流の自動切り替え
  • 衝撃の影響を受けにくい堅牢な筐体
  • 7種類から選択可能なフランジ形状
  • 交換簡単なセンサーエレメント
  • CEマーキング/RoHS指令
  • Granville-Phillips製54 Micro-Ion®と互換性あり

仕様・カタログ

そのほかの熱陰極型電離真空計

製品一覧