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熱陰極型電離真空計

bpg01

BPG400/402-S
BA・ピラニー真空計 コンビネーション型

インフィコンのコンビネーション真空計 BPG400およびBPG402-Sは、一つの筐体にBAとピラニーの二つのゲージを組み込み、5x10-8 Paから大気圧までの非常に広い測定範囲を提供します。この混合技術が導入と据付やセットアップとインテグレーションの複雑性を軽減し、プロセスの再現性に経済的な一つのパッケージで供給します。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター

特徴

  • 13桁(5E-8Pa~150KPa) の広範囲な圧力測定領域
  • プロセス圧力帯域で高い再現性 5%(1E-6~1Pa)
  • ピラニーインターロックでBAゲージの自動制御
  • LEDディスプレイやデジタルフィールドバスのオプションをラインナップ
  • 装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にする2本フィラメント(BPG402)
  • オンボード校正データ(BPG402)による再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー

プローシャー・仕様書・マニュアル

プローシャー

データシート仕様書

マニュアル

よくある質問

bpg02

BAG402 熱陰極電離真空計 汎用型

インフィコンの熱陰極電離真空計 BAG402は、プロセス圧からベース圧の領域で再現性ある測定性能を経済的な一つのパッケージで供給します。ユニークなサポート構造の長寿命2本フィラメントが装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にします。

用途

・高真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター

特徴

  • 8桁(5E-8Pa~6.7Pa) の広範囲な圧力測定領域
  • プロセス圧力帯域で高い再現性 5%(1E-6~1Pa)
  • EtherCATフィールドバスのオプションをラインナップ
  • 装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にする2本フィラメント
  • オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー

プローシャー・仕様書・マニュアル

プローシャー

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よくある質問

bpg03

TRIPLEGAUGE® BCG450 BA・ピラニー・キャパシタンス真空計 トリプルコンビネーション型

インフィコンのトリプルコンビネーション真空計 BCG450は、一つの筐体にBA・ピラニー・キャパシタンスの三つのゲージを組み込み、5x10-8 Paから大気圧までの非常に広い測定範囲を提供します。そして大気圧を検知するスイッチ機能も搭載してインテグレーションの複雑性を軽減し真空圧力測定をオールインワンパッケージで可能にします。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
・ロードロック制御

特徴

  • 13桁(5E-8Pa~150KPa) の広範囲な圧力測定領域
  • 1300Pa以上でガス種依存性のない測定ができることでロードロック監視に有効
  • 大気-真空の差圧スイッチ機能を付属
  • ピラニーインターロックでBAゲージの自動制御
  • LEDディスプレイやデジタルフィールドバスのオプションをラインナップ
  • オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー

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よくある質問

B0AG302 熱陰極電離真空計 R&D向け

BAG302 熱陰極電離真空計 R&D向け

INFICON standard Bayard-Alpert Hot Ion gauge BAG302は、1.3E-7Pa~6.7Paの範囲で測定可能です。コンパクトなオールインワン型ホットイオンゲージBAG302は、RS485インターフェース、交換の容易なデュアルフィラメントセンサ、見やすい有機ELディスプレイ、セットポイントリレー機能、および、対数出力信号が使用できます。BAG302は使いやすいデザインで、高価値・低価格の製品です。

用途

・薄膜プロセスやトランスファーモジュールの圧力計測と制御
・一般的な低真空から高真空までの圧力計測と制御

特徴

  • 広い測定範囲の表示と制御 1.3 × 10-7 ~ 6.7 Pa
  • 長寿命なイットリアコートイリジウムフィラメントを2本搭載
  • 内蔵ディスプレイ、セットポイント、アナログ出力信号、RS485デジタルインターフェイス、が全て一体となったボディ
  • 明るいデジタル有機ELディスプレイと、セットアップ、調整、操作を簡単に行えるキーパッド
  • ユーザーが設定可能なセットポイントリレー
  • 表示単位もキーパッドで変更できます
  • エミッション電流の自動切り替え
  • 衝撃の影響を受けにくい堅牢な筐体
  • 7種類から選択可能なフランジ形状
  • 交換簡単なセンサーエレメント
  • CEマーキング/RoHS指令
  • Granville-Phillips製54 Micro-Ion®と互換性あり

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BAG05x 熱陰極電離真空計 ヌードゲージ

製品名:BAG05x 熱陰極電離真空計 ヌードゲージ

INFICON Bayard-Alpert passive vacuum gauge heads BAG050, BAG051, BAG052 and BAG053, は、真空計コントローラ VGC083 と接続する測定子です。用途に合った特徴的な3種類をラインナップしています。BAG050はEBデガス機能を持つヌード型でE-9Pa極高真空対応、BAG051, BAG052 は抵抗加熱デガスを持つヌード型でE-8Pa超高真空対応、BAG053はガラスチューブ型です。

用途

・高真空~極高真空領域における真空測定および制御
・一般真空装置の圧力モニター        

特徴

  • 広く普及した信頼性の高い設計デザイン
  • ワイドレンジのエミッション電流
  • 選べるフィラメントタイプ シングル/デュアル イットリアコートイリジウム、デュアル タングステン
  • デガス:EBデガス共通搭載、抵抗加熱デガスはBAG051,BAG052,BAG053に搭載

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ワイドレンジ真空計

目盛り

ワイドレンジ真空計 BPG
BA・ピラニー真空計
コンビネーション型
ワイドレンジ真空計
  • 13桁の広範囲
  • フィラメント長寿命
ワイドレンジ真空計 BAG
BA電離真空計
汎用型
ワイドレンジ真空計
  • 容易なエミッション制御
  • フィラメント長寿命
ワイドレンジ真空計 TRIPLEGAUGE®
BCG450
BA・ピラニー・キャパシタンス真空計
トリプルコンビ型
ワイドレンジ真空計
  • 3つのセンサーでフルオートマチック
  • フィラメント長寿命
ワイドレンジ真空計 BAG
BA電離真空計
R&D向け
ワイドレンジ真空計
  • 見やすい有機ELディスプレイ
  • セットポイントリレー機能
ワイドレンジ真空計 BAG05x
BA電離真空計
ヌードゲージ型
ワイドレンジ真空計
  • 極高真空測定
  • 選べるセンサーデザイン

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