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コントローラ表示器・真空スイッチ

vgc01

VGC501/502/503 表示器コントローラ デジタル通信型

インフィコン製のすべての現行型真空計と互換性のある VGC500 リーズのコントローラは 圧力値をリアルタイムで表示するとともにセットポイントのステータスをモニターとデータロギングすることができます。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター

特徴

  • 接続したインフィコン製真空計を自動認識
  • ユーザが選択可能な測定単位(mbar、Torr、Pascal、micron)
  • 高解像度の16 ビット A/D コンバータ
  • ヒステリシスを備えた最大 6 つのセットポイントリレイを任意のチャンネルに割り当て可能
  • プログラム可能な対数/リニア特性を使用した0~10 Vのチャートレコーダ出力が可能
  • データロギングとファームウェアアップデートが可能な便利なUSBポート

プローシャー・仕様書・マニュアル

データシート仕様書

マニュアル

VGC031 デジタルコントローラ コンベクションピラニー用

VGC031 デジタルコントローラ コンベクションピラニー用

VGC031 は、デジタルコンベクション型ピラニゲージ(PGE050)と一緒に使用するために設計されており、低真空から高真空領域で低価格の真空計測を要求されるアプリケーションに最適です。また、広い測定領域と高精度の特徴により従来型のピラニゲージやサーモカップルゲージへの置換えにも適しています。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター

特徴

  • 明るいデジタル有機ELディスプレイと、セットアップ、操作を簡単に行えるキーパッド
  • 割り当て自由な3つのアナログ出力信号
  • ゲージヘッド別に2種類のデガス機能
  • センサーとエミッションのリモーデジタル I/O
  • コンベクションピラニーからヌードゲージの自動ON/OFFが可能
  • 任意のヒステリシスによるセットポイント機能
  • 割り当て自由な全6点のセットポイントリレー
  • RS232C, RE485, シリアル通信インターフェイス
  • イオンゲージのオーバープレッシャー保護機能
  • Granville-Phillips® 307製コントローラと 互換性あり

プローシャー・仕様書・マニュアル

データシート仕様書

マニュアル

VGC083 3チャンネルコントローラ ヌードゲージ用

VGC083 3チャンネルコントローラ ヌードゲージ用

VGC083 真空計コントローラはヌードゲージヘッドBAG05x とコンベクションピラニヘッドPGE05x に接続して大気圧からE-9Pa まで測定が可能です。6点のセットポイントリレー機能とRS232,RE485のインターフェイスを搭載しています。

用途

・低真空~超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター

特徴

  • 明るいデジタル有機ELディスプレイと、セットアップ、操作を簡単に行えるキーパッド
  • 割り当て自由な3つのアナログ出力信号
  • ゲージヘッド別に2種類のデガス機能
  • センサーとエミッションのリモーデジタル I/O
  • コンベクションピラニーからヌードゲージの自動ON/OFFが可能
  • 任意のヒステリシスによるセットポイント機能
  • 割り当て自由な全6点のセットポイントリレー
  • RS232C, RE485, シリアル通信インターフェイス
  • イオンゲージのオーバープレッシャー保護機能
  • Granville-Phillips® 307製コントローラと 互換性あり

プローシャー・仕様書・マニュアル

データシート仕様書

vgc02

VSA200/VSD200 真空スイッチ 絶対圧型/差圧型

インフィコンの VSA200/VSD200は、正確かつ信頼の圧力値検知ができる真空スイッチです。この堅牢な設計のスイッチは圧力インターロックをはじめ、あらゆる真空アプリケーションで役に立ちます。

用途

・ロードロック制御等の大気圧検知
・真空システム内の圧力インターロック

特徴

  • 耐腐食性のあるオールステンレス設計
  • ポテンシャルフリー・リレー接点
  • 工場出荷設定または任意設定可能なセットポイントリレー
  • 温度補償型高精度センサー
  • 堅牢、クリーンルーム対応の設計

プローシャー・仕様書・マニュアル

データシート仕様書

マニュアル

表示器コントローラ、真空スイッチ

目盛り

ワイドレンジ真空計 VGC501/502/503
表示器コントローラ
デジタル通信型
ワイドレンジ真空計
  • 全てのINFICONゲージに対応(自動識別)
  • チャンネル割り当て自由なセットポイント最大6点
表示機コントローラ、真空スイッチ VGC031
デジタルコントローラ
コンベクションピラニー用
表示機コントローラ、真空スイッチ
  • 見やすい有機ELディスプレイ
  • セットポイントリレー機能、RS232/485
表示機コントローラ、真空スイッチ VGC083
チャンネルコントローラ
ヌードゲージ用
表示機コントローラ、真空スイッチ
  • 6点のセットポイントリレー機能
  • RS232,RE485のインターフェイス
ワイドレンジ真空計 VSA/VSD
真空スイッチ
絶対圧型/差圧型
ワイドレンジ真空計
  • 耐食性に優れたステンレス製センサ
  • 優れた長期安定性

そのほかの真空計

製品一覧