BAG402 熱陰極電離真空計 汎用型
BAG402 熱陰極電離真空計 汎用型
インフィコンの熱陰極電離真空計 BAG402は、プロセス圧からベース圧の領域で再現性ある測定性能を経済的な一つのパッケージで供給します。ユニークなサポート構造の長寿命２本フィラメントが装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にします。
用途
・高真空～超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
利点
- ８桁（5E-8Pa～6.7Pa) の広範囲な圧力測定領域
- プロセス圧力帯域で高い再現性 5%(1E-6～1Pa)
- EtherCATフィールドバスのオプションをラインナップ
- 装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にする２本フィラメント
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
