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製品紹介

製品紹介:インテリジェントセンサーソリューションズ(ISS)

ISS(Intelligent Sensor Solutions)部門は、更に3つの異なる製品グループに分かれており、それぞれ特徴のある
製品をマーケットへ提供しています。

  • STC:Sensor Technology and Control
  • TF:Thin Film
  • ES:Environmental Sensors

STCグループ

高度なプロセスモニターテクノロジー

真空技術を使った製品の中でも、とりわけ高い技術力が求められるのが半導体チップです。その製造プロセスにおいては、高純度シリコン(Si)の基板上に真空の空間で単独材料や化合物材料をその純度を保ったまま薄い膜として形成させることが必要になります。もしこのとき、真空であるべき空間にパーティクル(微細なゴミ)や汚染ガスがあると半導体は不良品になってしまいます。しかも、半導体ウェハの大口径化や加工の超微細化で、真空プロセスのコントロールはますますシビアになっています。こうした重要な真空プロセスにおける真空状態をチェックする計測機器やインテグレーション・システムを扱っているのがSTCグループです。半導体製造の高度化に対応して製造プロセスにおける汚染ガスやプロセスガスの存在をサブppmレベルで計測する質量ガス分析計やプラズマ発光式ガス分析計、またプラズマの状態をチェックするプラズマモニターをラインナップしています。

インテグレーション・システムで生産性向上に貢献

更に卓越した技術ノウハウを持つインフィコンでは、これらの計測機器を統合的にネットワーク化して真空プロセスのリアルタイム管理を実現したインテグレーション・システム「FabGuard」を提供しています。この「FabGuard」では、プロセスを最適化するために重要なプロセスパラメータをプロセスごとにコントロールすることや、プロセス装置またはプロセスエンジニアに対して検出された故障やその考えられる原因を迅速かつ自動的にフィードバックすることが可能になります。

STCイメージこれにより、プロセスの変化・汚染・装置の故障に起因する損失やコストアップにつながるテストウエハを低減できることから、半導体製造のコストパフォーマンスを大幅に向上。当社がマーケットを開拓する上での大きなアドバンテージになるとともに、その導入にあたっては各エンジニアが極限のテクノロジーに挑む喜びを味わっています。

TFグループ

リアルタイムで薄膜の膜厚測定

世の中に薄膜(Thin Film)を測定する技術はいくつか存在しますが、そのほとんどがオフラインでの計測で、成膜後の製品を測定装置へ持っていき、必要に応じて製品を加工し、やっと測定が可能となります。弊社が提案する膜厚測定は、インラインで、リアルタイムでの膜厚測定が可能です。測定原理は、水晶振動子の固有周波数の変化を用い、水晶振動子へ同時に成膜を行うことで、膜厚増加に伴う周波数の減衰量を測定し、逆算で膜厚を求めています。さらに、膜厚変化の時間変化を計算し、その情報を成膜装置へフィードバックすることにより、一定の性能を有した膜を継続して成膜することが可能としています。この技術は、高機能な成膜が要求される光学関係や、電子デバイスの製造の高機能化に貢献しております。

有機ELに注目

TFイメージ今後大いに期待できるアプリケーションとして、有機ELに注目しています。有機ELでは発光材料の成膜が非常に重要な工程であり、高度な膜厚制御が要求されます。弊社の膜厚計は、実に全世界の90%以上の有機ELの製造工程で使われており、有機ELの発展を陰で支えております。ますます多くの製造工程で使われることで、社会の発展に貢献し続けたいと、考えております。

ESグループ

必要なときに必要な場所で…

ESイメージインフィコン社のガスクロマトグラフは、その用途に合わせ小型、軽量、かつ堅牢なポータブル計測器として多様な計測条件に対応しながら、ガス分析が必要とされる現場で研究室レベルの計測ができるよう設計されています。
石油プラントにおける精製ガスの確認、化学プラントにおける反応過程の確認、また災害時における未知のガスの確認など、インフィコン社のガスクロマトグラフは高速立上げと最短時間での解析結果を提供することができ、現場での判断にスピードをもたらします。

危機対応から24時間の遠隔監視まで

世界中で発生する未曾有の化学災害や事件、事故、あるいは環境汚染を防止する為の排水管理など、インフィコン社のガスクロマトグラフは多くの現場で的確な判断と対応をするために使われています。26万種以上の化合物ライブラリーを用い、未知の化学物質を同定し災害現場の安全を確保すること、高速解析による試験条件の改善や災害・危機管理への迅速な対応、遠隔操作と24時間監視プログラムによるプロセスのオートメーション化など、インフィコン社のガスクロマトグラフは研究室の性能を現場に持ち出す機能とノウハウがあふれています。

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