PSG500 ピラニー真空計 汎用型
PSG500 ピラニー真空計 汎用型
インフィコンのピラニーゲージPSG500およびPSG502-Sはデジタル技術を採用しています。ステンレス製の堅牢なセンサーとコンパクトなデザインにより、半導体システムや補助真空排気ラインなどの一般用途に最適です。
用途
・高真空用電離真空計の制御
・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
利点
- プッシュボタンによる簡単なATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢なデザイン
- アルミニウム製ハウジング
- 取付け方向が自在
- メタルシールフィードスルーによるステンレス製センサー
- システムへの統合が容易な対数信号出力
