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PCG55x ピラニー・キャパシタンス真空計 コンビネーションネーション型

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PCG55x ピラニー・キャパシタンス真空計 コンビネーションネーション型

インフィコンのPCG55xは、当社のセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニセンサーの特長を一つに組み合わせた製品です。1000Paから大気圧の測定レンジにおいて、当社のキャパシタンスダイアフラム技術は、ガス種に依存せず、高精度で信頼出来る圧力測定を提供します。また、PCG55xはアプリケーションで要求される製品構成に適したさまざまな機能を提供します。

用途

・ロードロック制御 ・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空~高真空領域における真空測定および制御

特徴

  • 1,000Paを超える測定でガス種に依存しない―どのような混合ガスでも安全にベントが可能
  • 大気圧で高い精度と再現性―信頼できる大気圧検知機能オプション
  • 3種類のセンサー材料(W, Ni, Al2O3コート)で耐腐食に最適なタイプを選択可能
  • 豊富なオプション LCDディスプレイ, セットポイントリレー、デジタルインターフェイス
  • オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
  • 取付け方向が自在
  • デジタル診断ポート付き

仕様・カタログ

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