RF/DCセンサー
RF/DCセンサーの特徴
インフィコンが新しく提供するSion RFディテクターは、プラズマ・マイクロ・アーキング測定、またプラズマクリーン・エンドポイント測定を極めて高い感度と高速測定スピード（250kHz)で検出することができるリアルタイム・プロセスモニターです。 2007年当初のリリース以降、インフィコン社製新型RFディテクターは大手半導体量産工場に導入されており、プロセス中の異常をリアルタイムに検出しアラームを発生することで、グレーロット／ウェーハの削減、歩留まり向上、およびロスタイム軽減に貢献でき、トータルコストの削減が図れます。また、超小型設計と極めて容易な取り付けスタイル（クランプ方式）で、多種多様なプロセスチャンバーへの搭載が可能です。