リークディテクタ・真空計・ガス分析器製品
リークディテクタ・真空計・ガス分析器製品
FDC（Fault Detection and Classification）機能とユーザーに使いやすい解析ツール、各種デジタル及びアナログのセンサーを統合し、半導体装置の状態やプロセスを効率よく分析することができます。ウェハーサイズ・製造プロセスを問わず、非常に多くの種類の半導体装置に接続することが可能で、SEMIスタンダードはもちろん、適用していない装置でも非常に多くの経験を持っていますので、お困りの場合是非ご相談下さい。
FDC（Fault Detection and Classification）システムの異常発生時の手順、定期メンテナンス時の手順、故障発生時の原因特定手順、復旧手順など、装置保全のワークフローの指示、および保全記録の管理を支援します。リークチェックや真空引き作業など、標準化できる作業を再利用できフローチャートで作業の流れを指示することができます。また、作業の記録やメンテ実測値の記録を記録することができ、故障発生時に過去の経緯から、原因の特定の時間を短縮します。
| 動画資料リンク | 機能概要 | DEMO動画（英語） | 技術資料（PDF） |
|---|---|---|---|
| FabGuard | FDC 設備異常検知 | ||
| FabRecover | メンテナンスワークフロー管理 |
出来高優先、コスト優先、納期優先など、目まぐるしく変化する生産要件を容易に設定し、搬送を含めた生産スケジューリングを業界最短のスピードで実行が可能です。また車載品質ゼロディフェクト対応、需要変化への追従など、最新機能が追加されています。
| 動画資料リンク | 機能 | DEMO動画（英語） | 技術資料（PDF） |
|---|---|---|---|
| Smart Factory Digital Twin | スマートファクトリー概要 | ||
| Factory DashBoard | 工場ダッシュボード | ||
| Factory Scheduler | 生産スケジューラー | ||
| Next Move | 生産・搬送実行 | ||
| Next Move (Video Tracking System) | ビデオによるロットID読み取り | ||
| Metrology Sampling Optimizer | 抜き取り検査最適化 | ||
| Capacity Analysis | 多品種生産の能力計算 | ||
| BEOL Scheduling | 半導体後工程のスケジューリング | ||
| SmartFDC | スマートFDC |
INFICON セラミックキャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）は、真空産業で求められる最高精度（0.15％）のアプリケーション向けに設計されています。耐腐食性を備えた超高純度アルミナセンサーが、優れた性能、最高の長期安定性、高精度をお約束いたします。
またINFICONのワイドレンジ真空計は優れた精度と信頼をコンパクトなデザインでお届けします。超高真空から大気圧まで、全範囲の真空をカバーします。
Sion RFディテクターは、プラズマ・マイクロ・アーキング測定、またプラズマクリーン・エンドポイント測定を極めて高い感度と高速測定スピード（250kHz)で検出することができるリアルタイム・プロセスモニターです。装置のマイクロアークの問題をお持ちの方は、是非一度ご相談ください。
プラズマを利用したQuantus LP100ガス分析計は、重要なプロセス環境でのリークの検知やプロセス及びクリーン エンドポイントをリアルタイムで検出します。
