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UL1000Wet/Fab・UL5000水素・ヘリウムリークディテクタ

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UL1000Wet/Fab・UL5000水素・ヘリウムリークディテクタの特徴

UL1000 可動式ヘリウムリークディテクタは、試験の柔軟性、高感度、素早く正確な結果、クイックスタート、可動性、システムの信頼性といった半導体の厳しい要求事項を満たすよう特別に設計されています。UL1000 Wetは、ウエットバッキングポンプと強力な高圧縮ターボポンプから構成されています。ターボポンプに複数のガス吸入口があるので、テストするコンポーネントの圧力条件の検出限界を最適化することが出来ます。

特徴

  • 幅広い装置適用:半導体装置のメンテナンス、リークテスト衣料品関連、食品パッケージ自動化ライン、電子部品関連
  • 最小検出リーク量 5x10⁻¹³Pa m³/s
  • 最大吸入口圧力 1500Pa
  • イオンソース3年保証
  • I・CALを使った超高速検知機能(1x10⁻¹³Pa m³/s の超微量リークは、1秒未満で表示。)

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