ピラニー真空計
PSG500 ピラニー真空計 汎用型
インフィコンのピラニーゲージPSG500およびPSG502-Sはデジタル技術を採用しています。ステンレス製の堅牢なセンサーとコンパクトなデザインにより、半導体システムや補助真空排気ラインなどの一般用途に最適です。
用途
・高真空用電離真空計の制御
・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
特徴
- プッシュボタンによる簡単なATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢なデザイン
- アルミニウム製ハウジング
- 取付け方向が自在
- メタルシールフィードスルーによるステンレス製センサー
- システムへの統合が容易な対数信号出力
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
PSG550 ピラニー真空計 高機能型
インフィコンのピラニーゲージPSG550は先進的なデジタル技術を採用しています。丈夫でコンパクトなデザインでありながら豊富なオプション機能が用意されていて、低真空から高真空までの多様なプロセス用途に最適です。
用途
・高真空用電離真空計の制御
・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
特徴
- ３種類のセンサー材料(W, Ni, SiO2コート）で耐腐食に最適なタイプを選択可能
- 豊富なオプション LCDディスプレイ, セットポイントリレー、デジタルインターフェイス
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
- 取付け方向が自在
- デジタル診断ポート付き
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
PCG55x ピラニー・キャパシタンス真空計 コンビネーションネーション型
インフィコンのPCG55xは、当社のセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニセンサーの特長を一つに組み合わせた製品です。1000Paから大気圧の測定レンジにおいて、当社のキャパシタンスダイアフラム技術は、ガス種に依存せず、高精度で信頼出来る圧力測定を提供します。また、PCG55xはアプリケーションで要求される製品構成に適したさまざまな機能を提供します。
用途
・ロードロック制御 ・補助真空圧力のモニター
・真空システム内の安全回路
・低真空～高真空領域における真空測定および制御
特徴
- 10 mbarを超える測定でガス種に依存しない―どのような混合ガスでも安全にベントが可能
- 大気圧で高い精度と再現性―信頼できる大気圧検知機能オプション
- ３種類のセンサー材料(W, Ni, SiO2コート）で耐腐食に最適なタイプを選択可能
- 豊富なオプション LCDディスプレイ, セットポイントリレー、デジタルインターフェイス
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
- 取付け方向が自在
- デジタル診断ポート付き
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
ワイドレンジ真空計
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PSG ピラニー真空計 汎用型 |
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PSG ピラニー真空計 高機能型 |
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PCG55x ピラニー・キャパシタンス真空計 コンビネーション型 |
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