熱陰極型電離真空計
BPG400/402-S ＢＡ・ピラニー真空計 コンビネーション型
インフィコンのコンビネーション真空計 BPG400およびBPG402-Sは、一つの筐体にBAとピラニーの二つのゲージを組み込み、5x10-８ Paから大気圧までの非常に広い測定範囲を提供します。この混合技術が導入と据付やセットアップとインテグレーションの複雑性を軽減し、プロセスの再現性に経済的な一つのパッケージで供給します。
用途
・低真空～超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
特徴
- 13桁（5E-8Pa～100KPa) の広範囲な圧力測定領域
- プロセス圧力帯域で高い再現性 5%(1E-6～1Pa)
- ピラニーインターロックでＢＡゲージの自動制御
- LEDディスプレイやデジタルフィールドバスのオプションをラインナップ
- 装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にする２本フィラメント(BPG402)
- オンボード校正データ(BPG402)による再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
BAG402 熱陰極電離真空計 汎用型
インフィコンの熱陰極電離真空計 BAG402は、プロセス圧からベース圧の領域で再現性ある測定性能を経済的な一つのパッケージで供給します。ユニークなサポート構造の長寿命２本フィラメントが装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にします。
用途
・高真空～超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
特徴
- ８桁（5E-8Pa～6.7Pa) の広範囲な圧力測定領域
- プロセス圧力帯域で高い再現性 5%(1E-6～1Pa)
- EtherCATフィールドバスのオプションをラインナップ
- 装置ダウンタイムリスクをなくしプロセス継続を可能にする２本フィラメント
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
TRIPLEGAUGE® BCG450 ＢＡ・ピラニー・キャパシタンス真空計 トリプルコンビネーション型
インフィコンのトリプルコンビネーション真空計 BCG450は、一つの筐体にBA・ピラニー・キャパシタンスの三つのゲージを組み込み、5x10-８ Paから大気圧までの非常に広い測定範囲を提供します。そして大気圧を検知するスイッチ機能も搭載してインテグレーションの複雑性を軽減し真空圧力測定をオールインワンパッケージで可能にします。
用途
・低真空～超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
・ロードロック制御
特徴
- 13桁（5E-8Pa～100KPa) の広範囲な圧力測定領域
- 1300Ｐａ以上でガス種依存性のない測定ができることでロードロック監視に有効
- 大気-真空の差圧スイッチ機能を付属
- ピラニーインターロックでＢＡゲージの自動制御
- LEDディスプレイやデジタルフィールドバスのオプションをラインナップ
- オンボード校正データによる再現性が保証されるプラグアンドプレイで容易な交換センサー
プローシャー・仕様書・マニュアル
プローシャー
データシート仕様書
マニュアル
キャパシタンスダイアフラム真空計
 |
 |
BPG ＢＡ・ピラニー真空計 コンビネーション型 |
 |
|
 |
BAG ＢＡ電離真空計 汎用型 |
 |
|
 |
TRIPLEGAUGE® BCG450 ＢＡ・ピラニー・キャパシタンス真空計 トリプルコンビ型 |
 |
|
