コントローラ表示器・真空スイッチ
VGC501/502/503 表示器コントローラ デジタル通信型
インフィコン製のすべての現行型真空計と互換性のある VGC500 リーズのコントローラは 圧力値をリアルタイムで表示するとともにセットポイントのステータスをモニターとデータロギングすることができます。
用途
・低真空～超高真空領域における真空測定および制御
・真空システム内の安全回路
・一般真空装置の圧力モニター
特徴
- 接続したインフィコン製真空計を自動認識
- ユーザが選択可能な測定単位（mbar、Torr、Pascal、micron）
- 高解像度の16 ビット A/D コンバータ
- ヒステリシスを備えた最大 6 つのセットポイントリレイを任意のチャンネルに割り当て可能
- プログラム可能な対数／リニア特性を使用した0～10 Vのチャートレコーダ出力が可能
- データロギングとファームウェアアップデートが可能な便利なＵＳＢポート
プローシャー・仕様書・マニュアル
データシート仕様書
マニュアル
VSA200/VSD200 真空スイッチ 絶対圧型/差圧型
インフィコンの VSA200/VSD200は、正確かつ信頼の圧力値検知ができる真空スイッチです。この堅牢な設計のスイッチは圧力インターロックをはじめ、あらゆる真空アプリケーションで役に立ちます。
用途
・ロードロック制御等の大気圧検知
・真空システム内の圧力インターロック
特徴
- 耐腐食性のあるオールステンレス設計
- ポテンシャルフリー・リレー接点
- 工場出荷設定または任意設定可能なセットポイントリレー
- 温度補償型高精度センサー
- 堅牢、クリーンルーム対応の設計
プローシャー・仕様書・マニュアル
データシート仕様書
マニュアル
表示器コントローラ、真空スイッチ
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VGC501/502/503 表示器コントローラ デジタル通信型 |
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VSA/VSD 真空スイッチ 絶対圧型/差圧型 |
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