SQM160（モニター）
SQM160（モニター）の特徴
SQM-160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚を計測するために、インフィコンのクオーツクリスタルセンサーで証明されたテクノロジーを活用します。
標準構成で2つのセンサーを入力ができ、オプション4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーの入力することを可能にします。標準の2つのレコーダーアウトプットから、レートと膜厚のアナログ信号を出力します。
用途
蒸着速度と膜厚の計測
特徴
- 標準2チャンネルセンサー入力、オプション追加4センサー入力
- レート/膜厚のアナログ信号出力
- オプション：0.03Hz@10readings/sec高精度タイプ
- RS-232標準、USBorイーサーネットオプション
仕様書・カタログ
【お知らせ】XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。
XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。
Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。
Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。
IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。
後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。
