センサーとフィードスルー

センサーとフィードスルーの特徴

インフィコンが提供するセンサー、フィードスルー、水晶振動子はいずれも品質と耐久性を兼ね備え、半田付けを使用せずに機械的に組立られていますから、部品を現場で必要に応じて簡単に交換する事ができます。

用途

仕様

	最高ベークアウト温度	寸法（最大エンベロープ）	水流路、同軸長	本体、ホルダー
crystal 12 Sensor	130℃	直径5.12"×高さ3.46" （12.1cm×8.8cm）取付けポスト（オプションを含む）	水配管30"（76.2cm）空気配管29.5"（74.9cm）同軸ケーブル長は発注時の指定による	304 SS （プレート、ホルダ、材料シールド）
デュアルセンサー	130℃	1.45”×3.45"×高さ1.70" （3.7cm×88cm×43cm）	30"（76cm）	304 SS
UHVベーキング対応センサー	450℃	1.35"×1.38"×高さ0.94" （34cm×3.5cm×2.4cm）	30"（76cm）、 20"（50.8cm）、または12"（30.5cm）	304 SS
スパッタリングセンサー	105℃	直径1.36"×高さ0.47” （3.45cm×1.18cm）	30"（76cm）	金メッキBeCu
コンパクトセンサー	130℃	11"×1.06"×高さ1.06" （2.8cm×2.7cm×2.7cm）	30"（76cm）	304 SS
標準センサー	130℃	直径1.063"×2.24"×高さ0.69” （2.7cm×5.7cm×1.75cm）	30"（76cm）	304 SS

【お知らせ】

XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。
XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。
Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。
Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。

IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。
後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。