質量ガス分析計
各種プロセスガス中の不純物及び混合ガスの変動を極めて高い感度で検出することができるリアルタイム・プロセスモニター
特徴
インフィコンが提供する各種RGAは、各種プロセスガス中の不純物及び混合ガスの変動を極めて高い感度で検出することができる、リアルタイム・プロセスモニターです。 インフィコン社製プロセスモニターは多くの半導体量産工場に導入されており、プロセス中の異常をリアルタイムに検出しアラームを発生することで製造装置の稼働を制御し、グレーロット／ウェーハの削減、歩留まり向上および安定した高品質デバイスの製造が可能になります。さらに、本システムの導入により従来の品質管理工程の一部も削減することになりコストの削減が可能です。
また、デバイスの高集積･微細化および、エンドユーザー様からの品質保証要求の増加に伴い､膜質を管理／保証する為にプロセス中のリアルタイムモニターは不可欠となってきています。
Transpectorシリーズは、半導体・その他のあらゆる真空プロセスの管理にも貢献します。
