STRIPE™ CDG045Dhs, CDG100Dhs 高速応答性型
STRIPE™ CDG045Dhs, CDG100Dhs 高速応答性型
インフィコン社 STRIPE™ CDG045Dhs, CDG100Dhs キャパシタンスダイアフラムゲージは、今までにない超高速応答性能と従来品より一桁低い圧力のフルスケールヘッドをラインナップしています。応答時間<2msとEtherCATインターフェイス高速通信が先端アプリケーションにおける新たなソリューションを提供します。
用途
・Atomic Layer Deposition
・高速プロセス制御 ・微圧プロセス制御
・高真空プロセス制御
利点
- 生産性向上に寄与する超高速応答性 <2ms
- 実用性、応用性に優れたEtherCATフィールドバスインターフェイス
- 耐腐食性の高いアルミナセラミック製
- 低圧・微圧の制御に有利な 10m..20mTorrヘッド
