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ALDセンサー

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ALDセンサーの特徴

ALDセンサーは、原子層堆積法(ALD)に水晶振動子マイクロバランス(QCM)計測の再現性と精度、そして耐久性をもたらします。ALDセンサーは最大450℃までの温度に耐え、ALDプロセスの過酷な環境でも動作できるように設計されています。また、電気的干渉による潜在的な問題を効果的に排するため、水晶振動子の蒸着面の電極は完全にアースされています。

特徴

  • 最大耐熱温度450℃
  • ガスパージラインは水晶振動子の裏面に膜が堆積されない状態を保ちます
  • 溶接式ConFlatフランジ(ICF70)
  • O-リング圧縮継手(オプション)
  • 120℃、240℃、285℃用に最適化された3種類の高温プロセス用水晶振動子
  • カスタム仕様の高温プロセス用水晶振動子についてはお問い合わせください。

仕様

6MHz金電極の振動水晶子の場合、即納体制をとっております。

仕様・カタログ

    【お知らせ】

    XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。

    XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。

    TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。

    IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。

    Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。

    Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。


     

    IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。

    後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。

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