センサーとフィードスルー
センサーとフィードスルーの特徴
インフィコンが提供するセンサー、フィードスルー、水晶振動子はいずれも品質と耐久性を兼ね備え、半田付けを使用せずに機械的に組立られていますから、部品を現場で必要に応じて簡単に交換する事ができます。
仕様
| 最高ベークアウト温度 | 寸法（最大エンベロープ） | 水流路、同軸長 | 本体、ホルダー | |
|---|---|---|---|---|
| crystal 12 Sensor | 130℃ | 直径5.12"×高さ3.46" （12.1cm×8.8cm） 取付けポスト （オプションを含む） |
水配管30"（76.2cm） 空気配管29.5"（74.9cm） 同軸ケーブル長は発注時の指定による |
304 SS （プレート、ホルダ、材料シールド） |
| crystalSix センサー | 130℃ | 直径3.5"×高さ2.0" （8.9cm×5.1cm） |
30"（76cm） | 304 SS （プレート、ホルダ、材料シールド） |
| シャッターアセンブリ | 400℃ | センサータイプにより異なります | N/A | 300-シリーズSS |
| デュアルセンサー | 130℃ | 1.45”×3.45"×高さ1.70" （3.7cm×88cm×43cm） |
30"（76cm） | 304 SS |
| UHVベーキング対応センサー | 450℃ | 1.35"×1.38"×高さ0.94" （34cm×3.5cm×2.4cm） |
30"（76cm）、 20"（50.8cm）、 または12"（30.5cm） |
304 SS |
| コンパクトセンサー | 130℃ | 11"×1.06"×高さ1.06" （2.8cm×2.7cm×2.7cm） |
30"（76cm） | 304 SS |
| スパッタリングセンサー | 105℃ | 直径1.36"×高さ0.47” （3.45cm×1.18cm） |
30"（76cm） | 金メッキBeCu |
| 標準センサー | 130℃ | 直径1.063"×2.24"×高さ0.69” （2.7cm×5.7cm×1.75cm） |
30"（76cm） | 304 SS |
カタログ
-
【お知らせ】
XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。
XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。
Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。
Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。
IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。
後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。
