Guardian（CIGS）
Guardian（CIGS）の特徴
Guardian同時蒸着コントローラは、電子衝撃発光分光（EIES）を備えることによてCIGS膜製造過程における膜品質の再現性を著しく向上させました。 Guardianならば、0.1から10,000Å/sに至る蒸着速度を高精度にコントロールすることができます。
利点
- 8種類までの材料の同時蒸着のモニタリングとコントロール
- 0.1から10,000Å/secの蒸着速度に対応
- EIESとQCMを統合した薄膜プロセスコントロール
- CIGS薄膜に理想的
カタログ
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【お知らせ】
XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。
XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。
IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。
Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。
Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。
IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。
後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。
