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SQM160(モニター)

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SQM160(モニター)の特徴

SQM-160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚を計測するために、インフィコンのクオーツクリスタルセンサーで証明されたテクノロジーを活用します。
標準構成で2つのセンサーを入力ができ、オプション4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーの入力することを可能にします。標準の2つのレコーダーアウトプットから、レートと膜厚のアナログ信号を出力します。

特徴

  • 標準2チャンネルセンサー入力、オプション追加4センサー入力
  • レート/膜厚のアナログ信号出力
  • オプション:0.03Hz@10readings/sec高精度タイプ
  • RS-232標準、USBorイーサーネットオプション

仕様・カタログ

    【お知らせ】

    XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。

    XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。

    TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。

    IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。

    Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。

    Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。


     

    IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。

    後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。

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