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IC6/Cygnus2 (コントローラ)

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IC6の特徴


従来機種のIC/5のコンセプトを引き継ぎ、多機能性に富むIC6は、複数のソース、るつぼ、材料、プロセスを使用するシステムの蒸着速度と厚みをコントロールするための理想的なコントローラです。
IC6ならば最も複雑で要求の厳しい、しかも類例のないアプリケーションにも余裕を持って対応します。
IC6は蒸着速度と厚みコントロールに特に優れているばかりでなく、プロセスコントロール、論理処理、プログラム、レイヤ保存容量、プロセスデータ管理等においても優れた能力を発揮します。


Cygnus2の特徴


従来機種のCygnusのコンセプトを引き継ぎ、Cygnus2はOLED製造専用に設計された唯一の薄膜蒸着コントローラです。OLED製造のために重要な数々の機能を備えた Cygnus2は最も複雑で厳しい要求が課される独自OLEDアプリケーションにも余裕をもって対応します。
Cygnus2は ModeLock 測定システム(特許取得)を採用することにより現在入手可能な最も安定で、かつ最も高い分解能で速度と厚みを測定できるシステムを実現しました。必要なすべての機能を備えた信頼できるこのコントローラを使用することにより、OLEDメーカーは製造スループットを極限まで高めることができます。

特徴


  • 最高6個のソースを使用した6元同時蒸着に対応
    1台のコントローラで複数のホスト・ドーパントに対応でき大幅なコスト削減ができます。

  • 平均化処理(最大30秒)
    ドーパント等の低蒸着速度を測定する場合、ノイズ等の問題により安定した測定が困難でした。蒸着速度の移動平均を測定し、測定の安定性に寄与します。

  • 最高6個のソースを使用した6元同時蒸着に対応※レートフィルタリング10sec以上の場合
    非蒸着レートコントロール

  • 柔軟性に富む蒸着シーケンス

  • 膜厚の積算

  • Auto Z
    有機材料のZレシオは未知の部分が多く残されています。インフィコン独自のAuto Z機能を使用してZレシオを自動決定する事により膜厚精度が向上します。

  • 強力なプロセスレシピとデータ管理機能

  • 迅速なセットアップに寄与するAuto Tune機能

  • 再現性に優れたマルチセンサー測定

  • 精密な同時蒸着

AUTO-Zの精度:In/MgF2蒸着


AutoZは複数材料や多層膜蒸着の厚み測定精度を劇的に改善します。


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仕様・カタログ

    【お知らせ】 XTC/2は、2006年に販売終了となりXTC/3に切り替わっております。 XTM/2は、2008年に販売終了となりSQM160に切り替わっております。 TM-400は、2008年6月に販売終了となりSQM160に切り替わっております。 IC/5は、2010年12月に販売終了となりIC6に切り替わっております。 Cygnusは、2010年12月に販売終了となりCygnus2に切り替わっております。 Q-podは、2014年8月に販売終了となりSTM-2に切り替わっております。   IC/5、Cygnus、IC4/IC4 Plus、IC6000、XTC2、XTM2、XTC/C、MDC-360C、MDC-361C、およびPLO-10iに関ましては、既にサービス・保守部品のご提供は終了しております。 後継機種に関しましては、お問い合わせ願います。

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