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半導体製造装置FDCソフトウェア

FG IPM Operation

FabGuard IPM
半導体装置とプロセスの監視

FabGuard IPM (Integrated Process Monitoring)は、FDC(Fault Detection and Classification) 機能と強力な解析ツール、およびインフィコン製センサーを統合し、半導体装置の状態やプロセスを効率よく分析することができます。Run-to- Run制御などにおける重要なパラメーターを監視し、検出されたあらゆる不具合や相当する原因を、装置、MESまたはユーザーにフィードバックします。
FabGuard IPMは不良ウェハーの予防や装置ダウンタイムの縮小、歩留まり問題の改善に貢献します。

特徴

装置との接続性


FabGuard IPMはウェハーサイズ・製造プロセスを問わず、SECS/HSMS通信により驚くべき種類の半導体装置に接続することが可能です。また、SEMIスタンダードの装置以外にもOPCサーバーを介してPLCとの通信にも対応しています。
適切なタイミングで適切なデータを収集することは、プロセスの逸脱を検知するために非常に重要です。
しかし現実的には装置ユーザー独自のカスタム仕様、装置制御アプリケーションのバージョンによる影響で困難を極めます。
INFICONは世界中の半導体工場でリードしてきた経験を生かし、カスタマー毎の細かい仕様に対応します。
FabGuard IPMは装置メーカー純正のFDCソフトが複数混在する事を防ぎ、オペレーションの統一化、作業効率の向上に貢献します。
ウェハーのサイズや最終製品の種類にかかわらず、工場の生産性と競争力にとって重要なのは装置からのタイムリーなデータです。コスト削減の需要が高まっている中、不良ウェハーを減らし装置の稼働率を上げることが大きな鍵を握っています。FabGuard IPMはIn-Situセンサー(RGA、RFモニタ等)からデータを取得し、装置データと統合して分析することにより、付加価値の高いデータをユーザーに提供します。FabGuard IPMはスムーズな製造オペレーションにとって、プロセスと装置のデータが何より重要であるという原則に基づいて作られています。

装置データ、センサー、ゲージの統合


FabGuard IPMは、ユーザーが幅広いデータソースからデータを収集できる統合プラットフォームとして機能します。例として以下のデータを統合できます。
・高速アナログデータ
・INFICONセンサ(RGA、OES、RF / DCモニタ)
・サードパーティのセンサーとゲージ

生産性を向上させるプロセスモニタリング


FabGuard IPMはチャンバー個別の監視から工場規模の統計的プロセスモニタリングまで、あらゆるレベルのFDCエンジニアリングを可能にします。
不良ウェハーを防止するため、FabGuard IPM解析機能としてReal-time Analysis機能を持っています。Real-time AnalysisではSPCメソッドで検出できないような瞬間的な変化をリアルタイムで検出することができます。ユーザーがもっている問題解決のノウハウは、あらゆる装置のどのチャンバーでもFabGuardレシピに簡単に適用することができます。

  • プログラムにより SPC, MVA(PCA, PLSなど)、エキスパートシステムとして機能します
  • 工場、装置、センサーからのデータ収集と解析すべてを一つのユーザーインターフェイスで処理します
  • リアルタイムで不良を検出して装置を即時停止させることによりウェハの歩留まりが向上します
  • 工場全体のメイン FDC システムとしての構築・活用以外に、従来からのシステムに追加して既存 FDC の機能を強化することも可能です
  • 既存 FDC や APC システムに各種センサーを追加することができます
  • 工場全体の稼動状況を表示させるか、 または装置チャンバー内の特定のプロセスステップに注目して稼動状況を表示します

仕様・カタログ

製品一覧