オプティカルガス分析計
プラズマを利用したQuantus LP100ガス分析計は、重要なプロセス環境での汚染やエンドポイントをリアルタイムで検出します。多くのプロセスはごくわずかな汚染によっても影響を受けまた、技術の進歩によってこれらのプロセスは限界へと近づきつつあるため、汚染の防止がより重要になっています。Quantus LP100は、敏感なプロセス環境の小さな変化にも速やかに反応するように設計された、製品不良を最小限に抑え、歩留まりの改善に貢献できる製品です。
用途
リアルタイム・エンドポイントおよび、コンタミネーションの検知
利点
- 便利なフィールド交換可能なセル
- 標準KF25接続による簡単なインストール
- 低メンテナンス性
- PPMレベルの検出能力
- 1.3Pa - 130Paの広い動作範囲
- 真空排気系を必要としない長期信頼性
- 低ランニングコスト
- 高速10msの測定時間
- コンパクトサイズ：87mm x 15mm x 235mm
- 経験豊富なインフィコン社のエンジニアによるサポート