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Modul-1000 水素・ヘリウムリークディテクタ

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Modul-1000 水素・ヘリウムリークディテクタの特徴

お客様の仕様に合わせてさまざまなフォアポンプをお選び頂けます。さらに柔軟性、高感度、素早く正確な結果を見出します。最後にModul1000は内部にPLC機能を持っております。この機能を使用することによりPLCを使用せずに検査装置を組み付けることが出来ます。

用途

スニファーリークテストシステム、半導体装置メンテナンス、食品パッケージ自動化ライン組み込み、電子部品自動化関連

仕様

最小検出リーク量 1.0x10⁻¹²Pa m³/s
最大吸入口圧力 100Pa
 

イオンソース3年保証

I・CALを使った超高速検知機能(1x10⁻¹³Pa m³/sの超微量リークは、1秒未満で表示。)

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