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よくあるご質問

インフィコンによく寄せられる質問にQ&A形式でお答えします。

インフィコン全般

新型コロナウイルス COVID-19感染症を取り巻く環境を踏まえたINFICON製品供給と修理サービス継続のお知らせ
INFICON Corona 2020-1

新型コロナウイルス、COVID-19感染症を取り巻く環境を踏まえ、INFICONは、何よりもまず、第一に従業員の安全な作業環境を確保維持しながらお客様へ継続的なサービスとサポートを提供し続けることをお約束したいと思います。我々は世界中で製品のご注文を受け入れ、出荷できるようにするための包括的な計画を用意しております。すべての製造拠点は製品を安全に製造し続け、また販売拠点は現地の安全規制その他要件に沿って製品の修理サービスを継続して提供いたしております。世界中のインフィコン社員は優れたサポート体制を維持するためにテレワーク等により対応できる設備体制を備えております。

新型コロナウイルス COVID-19感染症を取り巻く環境を踏まえたINFICONサポート体制

新型コロナウイルス COVID-19感染症を取り巻く環境を踏まえたINFICON製品供給と修理サービス継続のお知らせ
INFICON Corona 2020-1

新型コロナウイルス、COVID-19感染症を取り巻く環境を踏まえ、INFICONは、何よりもまず、第一に従業員の安全な作業環境を確保維持しながらお客様へ継続的なサービスとサポートを提供し続けることをお約束したいと思います。我々は世界中で製品のご注文を受け入れ、出荷できるようにするための包括的な計画を用意しております。すべての製造拠点は製品を安全に製造し続け、また販売拠点は現地の安全規制その他要件に沿って製品の修理サービスを継続して提供いたしております。世界中のインフィコン社員は優れたサポート体制を維持するためにテレワーク等により対応できる設備体制を備えております。

リークディテクタ全般

リークディテクタにはどのような種類がありますか?
真空法、スニファー法、蓄積法に対応したラインナップがあります。 測定対象や検出したいガス(ヘリウム、水素、各種冷媒ガスなど)に合わせてご選定ください。
内部校正と外部校正の違いは?
内部校正は、リークディテクタに搭載された内部校正器を使用してリークディテクタを校正します。 外部校正は、外部校正器やマスターワークなどを使用してリークディテクタを校正します。
リークディテクタ校正のタイミングは?
リークディテクタ起動から20分以上経過してからの校正を推奨しています。
リークディテクタ校正の頻度は?
測定環境の変化に対応する上では、リークディテクタ校正の頻度は高いほうが望ましいです。 定期的に校正を要求するメッセージを表示させることもできます。
リークディテクタ本体のみの校正は行ってもらえますか?
リークディテクタ本体のみの校正は行っておりません。 校正された校正器をご用意いただき、使用環境において校正を実施いただくことを推奨しております。
メンテナンスの頻度は?
製品によって異なりますが、1年に1回の定期メンテナンス実施を推奨しています。
リーク量の単位は?
・Pa m3/s:SI単位、日本工業規格(JIS)に規定されています。
・atm cc/s:非SI単位、大気圧における1秒当たりのリーク量(cc)であり、イメージしやすい単位です。(1 atm cc/s≒0.1031 Pa m3/s)
・mbar l/s:欧州圏で使用されている単位です。(1 mbar l/s = 0.1 Pa m3/s)
・g/a:主に冷媒ガスの測定に使用され、1年間のリークするガスの重量(g)です。
防爆対応のリークディテクタはありますか?
Extrima防爆認証水素リークディテクタは、Zone 0(Division 1に相当)に対応しています。

真空法リークディテクタ

真空法リークディテクタのGROSS、FINE、ULTRAとは?
検出の感度の違いを表しており、GROSS < FINE < ULTRA の順で感度が高くなります。 感度が高くなることで微少なリークを検出できるようになりますが、高い真空が必要になります。

スニファー法リークディテクタ

スニファー法リークディテクタで使用される流量sccmとは?
Standard cc/sの略称であり、標準状態における1分当たりの量(cc)を表しています。
冷媒ガスリークディテクタE3000とHLD6000の違いは?
E3000は、質量ガス分析計を搭載しており、原子質量単位2~200amuのガスを任意に測定できます。 HLD6000は、赤外線センサーを搭載しており、使用するプローブに応じてハロゲンベースの冷媒ガス、CO2、R600a/R290をそれぞれ測定できます。
スニファー法リークディテクタP3000(XL)とXL3000flexの違いは?
P3000(XL)、XL3000flex共に、高流量モード(3000sccm)に対応しています。 P3000(XL)はヘリウム専用ですが、XL3000flexはヘリウムと水素を検出できます。

蓄積法リークディテクタ

蓄積法とは何ですか?
大気圧チャンバを使用したヘリウムリーク検査です。 水没試験や圧力変化法によるリーク検査からの置き換えを期待できます。

真空計全般

真空計にはどのような種類がありますか?
キャパシタンスダイアフラム真空計(隔膜式)、ピラニ真空計、熱陰極電離真空計(BA)真空計、冷陰極電離真空計(逆マグネトロン、ペニング)真空計のラインナップがあります。
測定原理により測定領域が異なりますので測定したい領域やガス種などに合わせてご選定ください。
ご不明な点が御座いましたら担当営業者までお問合せください。
インフィコン製のバルブはまだ購入できますか?
バルブ製品はVAT株式会社様へ事業移管いたしましたので、直接VAT株式会社様へお問合せください。
コンビネーションゲージ(真空計)とは?
真空測定では広い領域の測定が求められます。各測定原理では得意とする測定領域が異なりますので、高真空に真空排気する場合には2台の真空計を使用することになります。
コンビネーションゲージは、1台の真空計に2つ以上のセンサが搭載されており、外部からの切替信号を必要とせず、1台で広い領域の真空測定をすることができる真空計です。
真空計ポートを少なくしたい場合やシステムの簡素化にお役立ちできる製品です。
D-Subコネクターのネジの規格を教えてください。
インチ#4-40です。
真空計のCAD ファイルが欲しい。
一部製品におきまして、3D STEPファイルを用意しています。弊社担当者へその旨と製品名を明記してリクエストしてください。
RoHS対応はしていますか?
弊社真空計、真空継手、フィードスルーはRoHS対応した製品です。
防爆仕様やサニタリ仕様の真空計はありますか?
申し訳ございません。現在の弊社真空計ラインナップでは、防爆仕様やサニタリ仕様はございません。
Ether CATやDevice net等の対応品はありますか?
Ether CAT, Profibus, Device net, RS485対応品がございます。
※CC-Linkはございません。

修理サービス

国内で真空計の修理サービスは行っていますか?
国内の技術サービスセンターにてセンサー交換などの修理サービスを行っています。故障内容によっては、修理不可となる場合がございます。
修理開始前には、必ず修理見積書を提出しております。
真空計の交換時期はありますか?
真空計は経年劣化や汚れにより交換が必要となりますが、使用環境により使用できる期間が異なります。 メーカーから交換時期をご案内できませんので、お客様のご使用環境に合せて交換をして頂けますようお願い致します。
真空計のセンサー交換はできますか?
ピラニ真空計、BA真空計、冷陰極電離真空計では、センサ部の交換が可能です。弊社真空計は、お客様が容易に交換できるよう設計されており、短時間での交換が可能です。 真空計のセンサを交換した場合には、取扱説明書に準じてセンサの調整を実施することを推奨致します。 また、キャパシタンスダイアフラム真空計はセンサ交換ができませんので、調整範囲を超えた場合には新品交換となります。
Calibration(校正)はできますか?
校正サービス(有償)を承ります。尚、真空計のセンサ内部が汚れている場合にはお断りさせて頂く場合も御座います。
真空計の調整は必要ですか?
真空計は計測機器になりますので、新規でご使用される場合やセンサ交換をした場合は取扱説明書に順じて調整することを推奨致します。 また、長時間におよぶ使用や汚染により測定値にズレが生じる場合もありますので、定期的にチェックし、必要に応じて調整をしてください。
真空計において不具合と思われる症状が確認されています。対象品をお送りしたいのですが、「汚染状況申告書」や「修理依頼書」のフォーマットはありますでしょうか。
弊社よりフォーマットをお送り致しますので、指定の汚染申告書にご記入の上、弊社修理担当者宛にご返送下さい。
修理依頼書につきましては、お客様ご準備のフォーマットで問題ございません。

BPGシリーズ

BPG400とBPG402の違いは何ですか?
BPG400はB-Aフィラメントが1本のみです。BPG402はB-Aフィラメントが2本あり、フィラメント断線時に自動切替えにより計測を継続します。
B-Aフィラメントの寿命はどの位ですか?
真空計は経年劣化や汚れにより交換が必要となりますが、使用環境により使用できる期間が異なります。 メーカーから交換時期をご案内できませんので、お客様のご使用環境に合せて交換をして頂けますようお願い致します。
測定子を交換したら、高真空排気をしても計測値が2Pa程度までしか下がらなくなりました。対処方法を知りたいです。
B-Aフィラメントが切れている可能性が高いです。センサー部分の交換となります。

表示器

表示器(コントローラ)において、ケーブルは何mのラインアップがありますか?
ケーブルは、3m/5m/10m/15m/20m/30mが標準ラインナップとなります。40m/50m/75m/100mも特注対応可能です。
VGC501の図面は入手できますか。
各詳細情報につきましては製品マニュアル内に記載があります。 下記URLよりダウンロードいただき、ご参照いただけますようお願い致します。 https://products.inficon.com/ja-jp/nav-products/product/detail/vgc50x/ またVGC501のマニュアルは下記手順にてダウンロード可能です。 「ダウンロード」タブをクリック → マニュアル欄の「TINA96E1_B Operating Manual」を選択

膜厚計全般

インフィコンの膜厚計でどのようなことができますか。
蒸着材料の膜厚値をリアルタイムで測定・監視することができます。 コントローラの場合、設定により成膜レート・希望する膜厚値を決定し、蒸着プロセスの工程管理を行って頂くことが可能です。
モニターとコントローラの違いは?
モニターは蒸着レートの監視のみを行います。
コントローラは、計測した蒸着レートを信号により膜厚計へフィードバックすることで、蒸着源のパワーを制御し、希望膜厚への蒸着管理を行うことができます。
膜厚計の動作における必須アイテムは何でしょうか。
機種ごとに異なりますが、主に水晶・センサー・各ケーブル類が必要となります。原則として弊社機器と組み合わせてのご使用を推奨しておりますが、一部、他社様のセンサーとも組み合わせて使用可能となる場合がございます。各種特徴につきましては、担当者へご連絡ください。
実績のある蒸着プロセス、また適さないプロセスは何ですか。
一般的なPVD(真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング)プロセスに適しています。一方、プラズマCVDに適するセンサーのお取扱いにつきましては、別途ご相談願います。尚、リアルタイムでの蒸着を目的としておりますので、膜のついた基板を後から計測することは致しかねます。
Cygnus2とIC6の違いはなんですか。
レシピの違いにより、Cygnus2: 単層膜用、IC6:多層膜用として使用されるお客様が多くいらっしゃいます。その他にも異なる点がいくつかございますので、詳細につきましては弊社技術担当者までご連絡願います。機器外寸はそれぞれ同じです。
Crystal Failが発生する原因、対処方法について。
原因は複数考えられますが、よくある例を記載します。 ① 水晶の寿命に達した、膜剥がれ発生 → 対策: 水晶交換、センサー位置の移動など ② 電気的な接触不良 → 対策: 電極、ケーブルの接触状態や導通・絶縁を確認。必要に応じてケーブル交換。センサークリーニング実施。 ③ オシレーター(発振器)や 本体の故障 詳細につきましては、弊社技術担当者までご連絡願います。
レートが不安定な場合の対処方法について
① 新品水晶に変えて、症状の再現性を確認してください。
② 水冷条件、蒸着部からの距離を確認してください。
③ 材料の順番を変えて、症状の再現性があるかどうかを確認してください。
詳細につきましては、製品マニュアルをご確認頂きますようお願い申し上げます。
製品置き換え時に、以前使用していたオシレータ、ケーブルを使用することはできますか。
機種によっては、置き換え不可となる場合がございます。弊社担当者へお問い合わせ下さい。

Cygnus2,IC6

Cygnus2・IC6で蒸着を開始しても、Depositにならず、すぐにReady状態になります。
コントローラが「Crystal Fail」状態で無い事、Material の「Rate」&「Final Thickness」 が0以外に設定されているか、ご確認ください。
旧機種IC5、Cygnusとの互換性はある機種はなんですか。
C5 の後継機は IC6、Cygnusの後継機種はCygnus2となりますが一部互換性が無い部分がございます。購入前に必ず弊社担当者への確認をお願い致します。尚、弊社から提供可能な情報は、膜厚計本体の特徴のみとなり、膜厚計と外部装置との接続設定等に関しましては一部お答えできない部分がありますことをご了承願います。
ボタンでパラメーターの変更ができません。
画面右上に「READY」と表示されているか、確認 して下さい。 「READY」状態にするには、「STOP」→「RESET」のボタンを押すか、信号をかけていただく必要があります。

センサー

センサーの耐熱温度は何度ですか。
センサータイプによって異なりますが、水冷却なしの場合、
・スパッタリングセンサー: 103℃
・ベーカブルセンサー: 450℃
その他は130℃です。
原則として、センサー使用の際は常に水冷を流して頂く事を推奨しております。
センサーの貸出は可能ですか。
申し訳ありませんが、材料汚染の観点から、お引取り・お貸し出し共に行っておりません。
プラズマプロセスに向いているセンサーは何ですか。
プラズマを使用したプロセスの場合、長時間使用しますと、プラズマの叩きによってセンサーボディーがボロボロになる可能性があります。 スパッタリングセンサーを使用していただくか、アルミホイルでセンサーボディーを包む等の対策を推奨します。
センサーを、自身で曲げることはできますか。また曲げても良い部分はどこですか。
ご自身での手曲げでの微調整は可能ですが、過度に曲げを繰り返し過ぎてしまいますと、パイプ部が欠損してしまうことが御座います。またセンサーヘッド部を持って曲げることはせず、必ずチューブを持って曲げて下さい。
センサー注文にあたり、必要な情報はなんですか。
お客様がご使用予定のセンサー、フィードスルー情報と、加工図面をお送りいただけますでしょうか。図面には各寸法図をご記載下さい。
先日購入したQCM用のフィードスルーの、各配管を短くカットして使用しても問題ないでしょうか?また、最短何センチ程度カット可能でしょうか。
弊社でも加工を行っておりますが、ご自身で配管をカットして頂いても問題ございません。一方で、カット端面にバリが無い事を確認の上、センサーをF/Tに挿入するようお願い申し上げます。バリがある場合、O-ringが傷つきリークの原因となります。またカット時にパイプにかかる応力の支点を、フランジ基部にしない様にご注意下さい。 ご自身でフィードスルーをご準備いただく場合、水冷の他にエアー管が必要となるケースがございます。必ず仕様をご確認願います。
蒸着時のチャンバー内におけるセンサーの注意点はなんですか。
① 温度変化を抑えて頂くため、熱源から蒸着源から約30cm以上の距離を離してセンサー(水晶)を設置してください。 ②水冷条件についてご確認ください。 標準センサーの場合、 水温: 約23~25℃の範囲 (最大30℃まで) 流量: 規定無し (最小流量150~200cm3/min、最大流量無) 水圧の指定等は、特にございません。また水冷チューブは凍結しないようにご注意ください。 と設定いただいております。センサーを冷やしすぎると、結露が生じやすくなりますのでご注意ください。尚チラーの推奨機種はございません。 条件はセンサーごとに異なりますので、マニュアルをご参照願います。

水晶

既に着膜のある水晶を膜厚計に再セットして測定できますか
水晶の再利用は推奨しておりません。取り外し後の保管方法によって、過去の膜が酸化して劣化するケースがあります。正確な測定データが得られない可能性がありますので、再利用ではなく新しい水晶と交換しご使用下さい。
水晶の耐熱温度は何度ですか。
水晶振動子自体は、冷却有で約300度程度まで使用可能(=ピエゾ効果が持続)とされています。水晶温度が300度を超えた場合、ピエゾ効果が失われCrystal fail (発振不良)が起きます。
またセンサーの水冷却を行わない場合、水晶よりも先にセンサーの寿命がくる場合があります。標準センサーの場合、水冷を流さず使用すると、約130度以上の環境で、Invac cableが故障・センサー内部の電極のはんだ付け部分が溶け始める傾向にあり、発振不良のみならずセンサー本体の故障に繋がりますのでご注意願います。
また耐熱温度も重要ですが、特に重要視して頂きたい事は“水晶の急激な温度変化”に関してです。水晶の温度変化は、周波数の変動に直接影響しており、温度が不安定な場合は膜厚値の誤差が生じる原因となります。測定中の温度を安定させるために、センサーの冷却且つセンサーを熱源から30cm以上は遠ざけて頂く事を推奨しております。
水晶振動子(6MHz)は寿命として、どれくらいの周波数くらいまで安定して使用可能でしょうか。おおよその寿命の目安(何MHzで交換)があれば教えていただけないでしょうか。
お客様の材料の種類、測定パラメーターや周囲環境により、水晶の寿命が異なりますので「○○Mhzになったら交換」という目安は存在しておりません。また弊社からデータ等での提供が致しかねますので、お客様の経験則により水晶の寿命を定めて頂く形となります事をご了承願います。 材料によって異なりますが、蒸着過程で以下のような問題となる症状が発生します。
* レート表示にふらつきが多くなる
* 膜剥がれの発生で周波数が高くなる
* 膜ストレスによるXtal fail 表示等の症状
上記症状が発生する直前(または更に前)に、水晶を交換するお客様が多くいらっしゃいます。
インフィコンの水晶(金・銀・アロイ合金)の各種特徴について知りたいです。
金水晶:一般的なプロセス
銀水晶: 熱プロセス、スパッタ環境での使用を推奨します。熱プロセスで、標準の金電極と比較して熱による周波数測定誤差を抑えることができますが、酸化・硫化されやすいため、保管に工夫が必要です。
アルミ合金水晶: 応力の高い物質を蒸着されるお客様に推奨しております。各詳細につきましては、担当者へお問い合わせ下さい。
水晶の保管方法について知りたいです。
高湿度・高温の場所を避けて頂き、特に銀・アルミ合金水晶は酸化しやすい材質となりますので、シリカゲルなどの乾燥剤が入ったデシケーターに保管して頂きますようお願い申し上げます。
水晶の温度とはどこの温度をさすのでしょうか。
センサーヘッド付近の温度帯を、おおよその水晶温度とみなして頂いております。
Crystal failがずっと表示される場合、水晶を交換すれば解決しますか。
水晶以外に原因がある場合もございます。尚、水晶の汚れは目視で確認できない場合もございます。新品水晶への交換後、センサー・オシレータ・各ケーブルをそれぞれつなぎ直し、接触不良確認しても再発する場合、導通チェックを行っていただきます。資料をお送りしますので、弊社担当者へご連絡願います。

上記以外の膜厚計

STM2との互換性があるOSについて知りたいです。
Windows 10 Proまで対応しております。旧機種Q-podも動作可能ですが、サポートが終了しておりますので、申し訳有りませんが使用上の不具合についての対応は致しかねます。STM2への置き換えをご検討いただきますようお願い申し上げます。
XTC/2, XTM/2という古いタイプの膜厚計を使用していますが、電源をいれても画面が点灯せず、故障している可能性が高いです。
本製品は、生産・サポートが終了しておりますので現行機種であるXTC3S(3M), SQM160への置き換えを推奨させていただきます。詳細につきましては弊社担当者へのご連絡をお願い申し上げます。
旧機種の交換部品を入手することはできますか。
誠に恐れ入りますが、旧機種の部品の提供は致しかねます。
現行機種に関するご質問は、営業担当者までお願い致します。
SQM160のLife値は蒸着が進む(周波数が下がる)につれて、どのように増減しますか。
SQM160はLife値100%スタートとなり、例えば開始周波数6Mhz = 100%の場合、周波数が下がるにつれて%も減少します。 一方のXTC3,IC6,Cygnus2はLife値0%スタートですので、周波数が下がると、%は逆に増加していきます。Life値の寿命はお客様ご自身で決めていただく必要がございます。
膜厚計⇔RS232Cにおいて、通信エラーが発生しています。
膜厚計と接続している装置とのBaud rateは統一されていますでしょうか。例えばPCでソフトウェアをご使用される場合、PC、ソフトウェア、膜厚計の合計3箇所のBaud rateを統一する必要がございます。膜厚計のBaud rate確認場所については、各マニュアルをご確認下さい。また対応するケーブルについては弊社担当者へご連絡願います。

ガスクロマトグラフ(GC)全般

GCでどのような事ができますか。
GCでは、混合サンプルガスをカラムで分離し、ピークとして捉えることで、ある特定の成分がどれくらい含まれているかを知ることができます。検出器がMass Spectrometer (MS)のGC-MSタイプであれば、得られるマススペクトルからどのような成分が含まれているか推定することができます。
GCでどれくらいの濃度のガスの測定ができますか?
Micro GC FUSIONですとppm~高%、HAPSITE ERですと高ppt~低ppm、CMS5000ですと低ppb~高ppbの濃度のガスの測定が可能です。
GCの動作に必須なものは何でしょうか?
AC100Vの電源コンセントと、各GC装置に見合ったキャリアガスと、操作・解析用パソコンが必要になります。
測定に適さないサンプルは例えば何でしょうか?
液体、粒子を含む気体、エアロゾル、腐食性ガスは測定できません。 但し、CMS5000、HAPSITE ERでは、液に溶存しているVOC(揮発性有機化合物)を測定することができます。
どのようなアプリケーションで使用されていますでしょうか?
アプリケーションの一例として、Micro GC FUSIONは触媒プロセス反応解析、人工光合成研究、HAPSITE ERは緊急事案における未知物質の同定、CMS5000は工場排水中の有害VOCの監視に使用されています。
通常のGCとμGC(マイクロガスクロ)はどのように違いますか?
μGCは通常のGCに比べ、コンパクトで測定時間が短いのが特長です。
検出器タイプがFIDのGCはありますか?
FIDタイプはラインナップにありません。
ポータブル(可搬)式GCはありますか?
HAPSITE ERがポータブル式のGC-MSになります。
カラムは色々種類があり、交換できますか?
Micro GC FUSIONのみ、測定対象に応じて多種類のカラムから特定のカラムを選択することができます。測定対象が変わりましたら、カラムの含まれるモジュール単位で、別のモジュールに交換することが可能です。HAPSITE ER、CMS5000のカラムはそれぞれ決まっていて、変更することはできません。

Micro GC FUSION

測定中のカラム昇温ができることでどういう効果が期待できますか?
クロマトグラム後半のピークをシャープにすることによる測定精度の向上、および不純物・高沸点物質などのキャリーオーバーによる測定攪乱の抑止が期待できます。
Micro GC FUSIONの一分析の測定時間はどれくらいですか?
通常、1分析につき1~3分です。
Micro GC FUSIONの立ち上げ、立ち下げ時間はどれくらいでしょうか?
電源ボタンを押すだけで1分程度で立ち上げができ、測定終了から同様に1分程度で立ち下げができます。

HAPSITE ER

測定中に場所を移動することができますか?
HAPSITE ERは、四重極部にターボ分子ポンプではなくNon-Evaporable-Getter(NEG)ポンプを使用しているため、振動に強く、測定中も持ち運びが可能です。
HAPSITE ERの化学成分のライブラリー数はどれくらいでしょうか?
AMDIS 900種、NIST 300,000種の化学成分ライブラリーが活用できます。
サンプルの取込はどのように行えますでしょうか?
HAPSITE ERは、エアプローブ、SPME(固相マイクロ抽出)、ヘッドスペース、TDSS(加熱脱離)の4種類の方法が可能です。エアプローブ以外は、オプション品となります。

CMS5000

どのようなサンプルが測定できますでしょうか?
CMS5000は水分析と大気分析の両方が可能です。水分析の場合、水中に溶存しているVOCの検出が可能です。大気分析の場合、大気中に存在しているVOCの検出が可能です。
場所を移動しての測定は可能でしょうか?
屋内に据付設置して使用するものですので、場所を移動しての測定はできません。

3000 Micro GC

TCDのFaultが表示され、READY状態になりません。
3000 Micro GC本体の再起動を行っても改善が見られない場合は、検出器の故障が想定されますので、弊社リペアサービスセンターへご連絡ください。
電話:044-812-5050
尚、3000 Micro GCのサービスサポート期間は2021年12月末までとなります。
故障したモジュールの新品への交換はできますでしょうか?
3000 Micro GCは既に生産終了しておりますため新品モジュールはございません。故障の修理対応ができますので、弊社リペアサービスセンターへご連絡ください。
電話:044-812-5050
尚、3000 Micro GCのサービスサポート期間は2021年12月末までとなります。

残留ガス分析計(RGA)全般

RGA製品の原理について教えて下さい。
イオン部、質量分析部、検出部から構成された質量分析計です。チャンバー内部の残留ガスが、高温のフィラメントから放出された熱電子と衝突しイオン化され、四重極(マスフィルター)を通過したものがファラデーカップで電流値として検出されます。このイオン電流が残留ガスの量(分圧)に比例し、残留ガスの量を示すことが可能となります。
全圧と分圧の合計が同じ値になりません。違いはなんですか。
全圧は「イオンソース上のプレートで計測された値」であるのに対し、分圧は「四重極を通過、検出された電流値を元に、分圧計算された値」となります。測定方法や検出箇所が異なるため差が生じます。
インフィコンのRGA製品の強みはなんですか。
フィラメントやイオンソースを定期的に交換して頂くことにより、寿命が長く、高い耐久性を実現させた質量分析計となります。
エレクトロンマルチプライヤの役割は何ですか。
電子を増倍します。感度が1~2桁程度上がるため、S/N比が向上しデータグラフが見やすくなる傾向にあります。こちらの部品は消耗品です。
Transpector 2の後継機種は、XPR3シリーズとなりますでしょうか。
Transpector2 はXPR3シリーズ以外にも複数該当する機種がございます。compactタイプのC100、High performanceタイプのH100~300、CPM2.5などが存在します。ご不明の際にはINFICONまでご連絡ください。
最も大きな質量番号まで測定可能な機種を教えて下さい。
MPH、CPMは最大300まで測定することができます。 MPSは200まで、XPR3+は100まで測定可能となります。
センサーを取り付ける向きに指定はありますか。
特に決まりは無く、装置の上下左右どちらでも問題ございません。
フィラメントの状態を確かめる方法はありますか。
エレクトリックボックスからセンサーを取り外し、該当するピンをテスターで測定(導通、絶縁)して頂きます。フィラメントが断線している場合、交換が必要となります。
CPMのバルブ開閉管理はどのように行っているのですか。
指定圧力の空気または窒素ガスを用いて、ソフトウェアによる自動制御で開閉を行います。またハロゲン系(反応性)のガスを使用される場合は、ターボポンプベアリングの損傷をおさえるため、同時にパージを行います。
インターロック機能とはなんですか。
高い圧力でエミッションをONするとフィラメントが断線する恐れがあるため、プロセス側の圧力を監視し、既定値を超える前にロックをかけるための機能となります。
※ピラニゲージ付属機器のみ
各パーツの交換推奨頻度について教えて下さい。
機器の使用頻度によって異なりますが、フィラメントは約1年に1回、イオンソースは約2年に1回のご交換を推奨しております。その他のパーツについてはINFICONまでご連絡ください。
使用する場合の人体による影響があるかないかを教えて頂けますか。また、ある場合は具体的な影響内容をお願いします。※人体の影響とは妊婦とペースメーカー装着者とします。
旧機種XPR3と共に、XPR3+は定められた使用方法において、人体に影響はないものと考えて頂いて問題ございません。また和文マニュアル 4ページに適合宣言書に関する記載がありますので、そちらもご確認ください。

RGA制御ソフトウェア

Fabguard Explorerとはなんですか。
RGAの測定データを表示する簡易版ソフトです。エミッション信号のON/OFF切り替えや、レシピ作成を行うことができます。また測定中のデータをPC上で表示することが可能です。
「Hardware Error:Emission Anomaly:Cold Start Fail」というエラーメッセージが表示されて使用できませんでした。原因と対処方法をご教示いただけないでしょうか。
このエラーメッセージ表示時は、フィラメントが断線・劣化している可能性が高いです。フィラメントの導通・絶縁抵抗値の測定を行ってください。断線している場合、フィラメントの交換が必要です。
フィラメントの導通チェックの方法は、マニュアルにてご参照ください。
※旧機種【compactタイプのC100、High performanceタイプのH100~300】はフィラメント交換対応不可となります。
LANケーブルで接続してもセンサーの認識ができない場合、またはハードウェアを接続してもソフトウェア上でアイコンがオフになったままの状態です。どのように対応すればよろしいでしょうか。
LANで差し込んだら、アダプター変更➔イーサネットプロパティで次のアドレスを使用します。アダプター固定を行っていないことからエラーが発生するケースが多いです。(192.168.1.***/255.255.0.0)
コマンドをかけましたが、測定が時間通りに終わりません。時間通りに終わらせる方法について知りたいです。
よくある失敗例としまして、長時間測定のためパソコンが自動的にスリープモードになってしまっていることがあります。防止策として、 ハードウェアが止まらないように、電源を切らないかスリープモードにならない設定にしていただく事が必要です。その他詳細につきましては、INFICONまでご連絡ください。